在半导体制造中,即使是微小的空气颗粒也会导致严重的缺陷并降低产量。因此,维持高度受控的无尘室环境至关重要。
风机 过滤器单元(FFU) 在实现半导体无尘室的稳定和均匀风量方面发挥着关键作用。
DSX (吴江得胜鑫净化设备有限公司) 提供专为高精度半导体工况设计的定制设计 FFU 系统。
半导体工艺要求:
极低的颗粒浓度
稳定的风量分布
24/7 连续运行
高可靠性和一致性
如果没有适当的风量控制,污染风险就会显着增加。
无尘室设计中更大的问题之一是风量不均匀。
这可能导致:
湍流区
颗粒堆积
产品产量降低
DSX FFU 系统采用完全内部制造设计:
自主研发电机
专有控制系统(硬件和软件)
优化的风量结构设计
这确保了一致的性能和系统兼容性。
对于高要求的应用程序,请参阅:
FFU 系统对于半导体无尘室至关重要,但性能取决于工程质量和风量设计。
DSX 为更好的半导体制造提供可靠的可定制 FFU 解决方案。