化学过滤器
许多因素在工业环境中腐蚀和气味污染的问题。它不是由单个因素引起的，无法通过单个解决方案解决。
SEML标准F21-95提供了一种依靠气压分子污染（AMC）水平的微电子无尘室分类的方法。这是针对气体质量增强剂的，类似于联邦标准209E的颗粒污染。EmmstardF21-95根据气体强调的类别和每个类别的允许浓度水平对洁净室进行了分类。
四类气相污染物：
1.ACIDS（A类）：
腐蚀性气体，以化学反应为酸（电子检查器）
2.Bases（B类）：腐蚀性Qass，以碱的化学反应（电子供体）
3.粘合物（C类）：沸点的污染物通常高于室温，并且在晶圆表面上凝结。
4.培养剂（D类）：
改变半导体材料的电性能的污染物。
SEML F21-95分类由字母“ M ”确定，其次是类别设计器，然后是允许的污染物浓度，分别为每个三利型（PPT）。Folexample，MA-10IS的分类，具有更大允许允许的10 ppt的MA-10IS分类。
空气传播分子污染物的分类
| 材料类别 | 1 ppt | 10 ppt | 100 ppt | 1,000 ppt | 10,000 ppt |
| 酸 | MA-1 | MA-10 | MA-100 | MA-1000 | MA-10,000 |
| 基地 | MB-1 | MB-10 | MB-100 | MB-1000 | MB-10,000 |
| 浓缩物 | MC-1 | MC-10 | MC-100 | MC-1000 | MC-10,000 |
| 掺杂剂 | MD-1 | MD-10 | MD-100 | MD-1000 | MD-10,000 |
“ semlf21-95：洁净环境中空气传播分子污染物水平的分类”。1ppb = 1,000 ppt，1ppm = 1,000,000 ppt。
允许的AMC（机载分子污染物）浓度取决于洁净室的类别，所使用的过程和所使用的设备。
预计0.25 UM过程的AMC限制
| 过程步骤 | 更大坐的时间 | MA（PPT） | MB（PPT） | MC（PPT） | MD（PPT） |
| 前乙氧化 | 4小时 | 13,000 | 13,000 | 1,000 | 0.1 |
| 盐度 | 1小时 | 180 | 13,000 | 35,000 | 1,000 |
| 接触形成 | 24小时 | 5 | 13,000 | 2,000 | 100,000 |
| Duv Photorithagraphy | 2小时 | 10,000 | 1,000 | 100,000 | 10,000 |
洁净室中的典型污染物和浓度
| 类别 | 污染物 | 浓度浓度，ppt 高高 |
酸 | 盐酸 | 20,000 | 400，000 |
| 氢氟酸 | 40,000 | 250,000 |
| 硝酸 | 20,000 | 250,000 |
| 硫酸 | 10,000 | 300,000 |
| 磷酸 | 10,000 | 400,000 |
| 醋酸 | 10,000 | 250,000 |
| 二氧化氮 | 30,000 | 300,000 |
| 二氧化硫 | 10,000 | 150,000 |
基地 | 氨 | 10,000 | 200,000 |
| NMP | 20,000 | 300,000 |
浓缩物 | 丙酮 | 20,000 | 500,000 |
| 甲苯 | 10,000 | 250,000 |
掺杂剂 | 硼酸 | ND | 200,000 |
| 磷 | ND | 5,000 |
| arsine | ND | 50,000 |
用于控制气味和气体污染物的四种主要技术：掩盖，燃烧，易位和去除。Media颗粒用于通过adsorp-tion和氧化来控制气体污染物。化学过滤器可以通过吸附和吸收原理去除分子污染物。
为了通过消除颗粒物材料来净化空气，气态和蒸发的复合特性过滤器对不良气体和蒸气没有有效的效果。
当气态或液体分子到达吸附剂的表面并保持没有化学反应时，该现象称为物理吸附或物理吸附。
碳可以与其他化学物质浸渍，以通过未处理的碳改善某些低吸收能力的气体。这些化学物质与气体反应以降低污染物的浓度。
删除特定气体的另一种方法是捕获和反应。该过程称为化学吸附。
提供许多吸附材料；每种材料对某些蒸发剂具有特殊的亲和力。
当碳的尺寸越来越小时，表面积会增加。尽管它只是碳灰尘，即使碳的尺寸较小。更佳气压可以通过实验确定。
在分子污染物系统中，初始污染物的去除效率并不取决于体内粒径和碳活性，总表面积和表面化学的重要参数以确定初始效率。
如果空气污染非常潮湿（例如在下雨天），则可以竞争性地吸附有靶向污染的气体以吸附的碳容量，但是。f反应引起的，水分可以迅速增加反应。
温度更高时，温度还会影响吸附速率。将污染物吸引到碳中更困难。
