化学过滤器
许多因素在工业环境中腐蚀和气味污染的问题。它不是由单个因素引起的，无法通过单个解决方案解决。
SEML标准F21-95提供了一种分类微电子无尘室的方法。这是针对气体质量增强剂的，类似于联邦标准209E的颗粒污染。EmmstardF21-95基于气相强调的类别，对A 无尘室进行了分类，每个类别的允许浓度水平。
四类气相污染物：
1.ACIDS（A类）：
腐蚀性气体，以化学反应为酸（电子检查器）
2.Bases（B类）：腐蚀性Qass，以碱的化学反应（电子供体）
3.粘合物（C类）：沸点的污染物通常高于室温，并且在晶圆表面上凝结。
4.培养剂（D类）：
改变半导体材料的电性能的污染物。
SEML F21-95分类由字母“ M ”确定，其次是类别设计器，然后是允许的污染物浓度，分别为每个三利型（PPT）。Folexample，MA-10IS的分类，具有更大允许允许的10 ppt的MA-10IS分类。
空气传播分子污染物的分类
| 材料类别 | 1 ppt | 10 ppt | 100 ppt | 1,000 ppt | 10,000 ppt |
| 酸 | MA-1 | MA-10 | MA-100 | MA-1000 | MA-10,000 |
| 基地 | MB-1 | MB-10 | MB-100 | MB-1000 | MB-10,000 |
| 浓缩物 | MC-1 | MC-10 | MC-100 | MC-1000 | MC-10,000 |
| 掺杂剂 | MD-1 | MD-10 | MD-100 | MD-1000 | MD-10,000 |
“ semlf21-95：清洁环境中空气传播分子污染物水平的分类”。1ppb = 1,000 ppt，1ppm = 1,000,000 ppt。
允许的AMC（机载分子污染物）浓度取决于无尘室的类别，所使用的过程以及所使用的设备。
预计0.25 UM过程的AMC限制
| 过程步骤 | 更大坐的时间 | MA（PPT） | MB（PPT） | MC（PPT） | MD（PPT） |
| 前乙氧化 | 4小时 | 13,000 | 13,000 | 1,000 | 0.1 |
| 盐度 | 1小时 | 180 | 13,000 | 35,000 | 1,000 |
| 接触形成 | 24小时 | 5 | 13,000 | 2,000 | 100,000 |
| Duv Photorithagraphy | 2小时 | 10,000 | 1,000 | 100,000 | 10,000 |
洁净室中的典型污染物和浓度
| 类别 | 污染物 | 浓度浓度，ppt 高高 |
酸 | 盐酸 | 20,000 | 400，000 |
| 氢氟酸 | 40,000 | 250,000 |
| 硝酸 | 20,000 | 250,000 |
| 硫酸 | 10,000 | 300,000 |
| 磷酸 | 10,000 | 400,000 |
| 醋酸 | 10,000 | 250,000 |
| 二氧化氮 | 30,000 | 300,000 |
| 二氧化硫 | 10,000 | 150,000 |
基地 | 氨 | 10,000 | 200,000 |
| NMP | 20,000 | 300,000 |
浓缩物 | 丙酮 | 20,000 | 500,000 |
| 甲苯 | 10,000 | 250,000 |
掺杂剂 | 硼酸 | ND | 200,000 |
| 磷 | ND | 5,000 |
| arsine | ND | 50,000 |
用于控制气味和气体污染物的四种主要技术：掩盖，燃烧，换气和去除。Media沉淀用于通过吸附和氧化来控制气体污染物。化学过滤器可以通过吸收剂量的原理去除分子污染物。
为了消除颗粒物材料，净化空气，气态和蒸发的复合派别过滤器对不良气体和蒸气没有有效的效果。
当气态或液体分子到达吸附剂的表面并保持没有化学反应时，该现象称为物理吸附或物理吸附。
碳可以与其他化学物质浸渍，以通过未处理的碳改善某些低吸收能力的气体。这些化学物质与气体反应以降低污染物的浓度。
删除特定气体的另一种方法是捕获和反应。该过程称为化学吸附。
提供许多吸附材料；每种材料对某些蒸发剂具有特殊的亲和力。
当碳的尺寸越来越小时，表面积会增加。尽管它只是碳灰尘，即使碳的尺寸较小。 更好的 sizemust可以通过实验确定。
在分子污染物系统中，初始污染物的去除效率并不取决于体内粒径和碳活性，总表面积和表面化学的重要参数以确定初始效率。
如果空气污染非常潮湿（例如在下雨天），则可以竞争性地吸附有靶向污染的气体以吸附的碳容量，但是。f反应引起的，水分可以迅速增加反应。
温度更高时，温度还会影响吸附速率。将污染物吸引到碳中更困难。
