FFU是无尘室中的核心净化设备。本文由拥有20多年研发和生产经验的FFU源头工厂得胜鑫主讲，深度剖析了可靠关于FFU的10大常见问题。涵盖关键的可靠问题，例如 AC 与 EC 电机 选择、噪声控制、自定义尺寸、过滤器 更换周期和群组控制系统。了解得胜鑫如何利用风机和过滤器自主研发的核心技术为您提供更经济、更智能、更可靠的清洁环境解决方案。
随着半导体节点的缩小，传统的 FFU 组装已无法满足要求。了解 得胜鑫 (DSX) 如何利用 30,000 平方米的设施在内部制造核心组件，为全球晶圆厂提供无与伦比的 ISO 1 级纯度、AMC 控制和微振动稳定性。
在光刻中，即使是看不见的微振动也会导致图案模糊和良率损失。本技术指南解释了 FFU风机 如何实现低于 0.5 毫米/秒 (RMS) 的振动水平。我们探索我们的工程方法，包括动态平衡叶轮、减震 电机 安装座以及专为 ISO 1 级光刻区域量身定制的刚性结构设计。
空气分子污染 (AMC)——分类为酸 (MA)、碱 (MB)、可冷凝物 (MC) 和掺杂剂 (MD)——对 10 纳米以下半导体工艺构成严重威胁。本技术指南详细介绍了如何使用 双级过滤策略。我们分析从传统玻璃纤维到 低释气 PTFE 介质 防止硼污染并解释其作用 离子交换化学品 过滤器 保护敏感的光刻和蚀刻区域。”
虽然标准 FFU 管理一般空气，但设备 风机 过滤器 单元 (EFU) 是污染控制的特种部队。本指南详细介绍了工程差异，重点介绍 EFU 如何实现敏感半导体工具的零排气和微振动控制
解决半导体和电子产品中的静电放电 (ESD) 无尘室需要采取多方面的方法来解决设备累积和产品表面电荷问题。 得胜鑫 净化设备有限公司基于20多年的制造经验，实施三层战略。首先，使用带有导电外壳（不锈钢或除静电 烤漆ing）的风机 过滤器单元（FFU）来实现硬件上的可靠电荷积聚，从而实现被动预防。其次，主动中和是由与电离棒集成的专用电离 FFU 提供的，它可以用平衡离子喷洒工作区域，以中和敏感产品上的电荷。更后，得胜鑫通过导电洁净工作台和模块化洁净棚提供完整的ESD安全工况，以确保全面的静电控制。