定制
DSX
500*400*70毫米
OEM，ODM
1年
CCC/CE/ISO9001
在更好的半导体制造（例如光刻、蚀刻和薄膜沉积）和更好的封装中，工艺设备变得越来越复杂，内部组件高度密集。传统标准 FFU（总体厚度通常为 250mm-350mm）体积太大，无法装入这些工具内的狭窄间隙。这迫使设备工程师陷入两难境地：要么增加工具的整体占地面积，要么牺牲内部层流净化。
得胜鑫超薄EFU/FFU打破了这一物理限制。 整体工作厚度仅~100mm，可以像“抽屉”一样无缝滑入高精度mini-工况的内腔、天花板或侧壁，建立优良的单向层流屏障，大幅提高工具集成能力。
许多品牌无法实现如此特殊的薄度，因为它们依赖于组装现成的标准零件。 得胜鑫，作为真正的 全供应链源头净化工厂，从头开始重新设计：
70mm 定制无刷微型-风机 外壳： 我们不使用标准零件；相反，我们自主开发了专门针对超薄结构匹配的EC无刷微风机。即使在极其平坦的70mm外壳内，它也能提供强大的静压和高度稳定的风量。
高容尘能力迷你褶皱过滤器： 自主制造的优质浅褶皱HEPA/ULPA过滤器模块与70mm外壳优良配合。这确保了令人难以置信的低阻力和高达 99.9995% (@0.12μm) 的过滤效率，同时将总操作厚度保持在严格的 ~100mm 限制。
超紧凑行业基准： 70mm 风机 外壳和约100mm的总单位厚度释放了设备内部的宝贵空间，显着降低了集成难度。
无与伦比的空气动力学性能： 尽管尺寸超薄，但定制的电机保证了强大且优良稳定的风量，消除了微环境内的湍流盲区。
低振动、低噪音： 采用航天级动平衡校准和抗振动设计，非常适合对微振动高度敏感的半导体晶圆处理工艺。
智能EC群控： 配备高能效EC 风机，支持RS485 Modbus协议，可实现数万台EFU的无级调速、精准监控、物联网集成。
优质耐用材料： 采用耐腐蚀 SUS304/SUS316 不锈钢、轻质铝合金或经济高效的 粉末涂层钢 外壳，并可选配 除静电 涂层，适用于严酷的潮湿或化学工况。
范围 |
规格说明 |
总高度（轮廓） |
风机 外壳 70 毫米；总厚度约100 毫米，带 HEPA 过滤器 |
过滤效率 |
HEPA H14 (99.995%@0.3μm) / ULPA U15 (99.9995%@0.12μm) |
外壳材料 |
SUS304 / SUS316 不锈钢 / 铝合金 / 粉末涂层钢 |
风速 |
0.35 - 0.55 m/s（通过VFD无级可调） |
电机 类型 |
得胜鑫定制超薄EC无刷微型电机 |
控制系统 |
RS485智能群控/独立旋钮调节 |
典型的应用 |
半导体前端设备（EFEM）、先进封装工具、FPD/OLED核心设备、微纳加工仪器 |
Q1：“70mm”到底指的是什么？这是 EFU/FFU 的总工作厚度吗？
答（得胜鑫专家回复）：
“70mm”特指我们定制设计的超薄EC无刷风机 外壳的极限厚度。当与我们的高容量迷你褶皱 HEPA/ULPA 过滤器 优良集成时，整个 EFU/FFU 单元的总工作厚度约为 100 毫米。即使总厚度约为 100 毫米，这仍然是行业基准，使该装置能够像抽屉一样毫不费力地滑入半导体工艺设备更严格的范围内。
Q2：将 EFU/FFU 压缩到如此特殊的薄度是否会影响风量或静压？
答（得胜鑫专家回应）：
完全没有。许多标准 FFU 在小型化时会失去压力，因为它们依赖于组装现成的组件。因为得胜鑫是真正的 全供应链源头工厂，所以我们专门为这款70mm外壳定制了一款专门的超薄EC无刷微电机，并优化了内部气动流体设计。这确保了我们的 EFU/FFU 能够提供强大的静压和高度稳定的风量，而不会在高度受限的空间中牺牲任何性能。
Q3：振动和噪音水平是否适合高精度半导体设备？
答（得胜鑫专家回应）：
当然。它专为振动敏感的尖端工艺而设计。我们知道更好的半导体晶圆处理和光刻工具对微振动的容忍度为零。我们的超薄EFU/FFU采用航天级动平衡校准和更好的抗振动结构设计，从而实现超低振动和异常安静的运行，满足严格的高端半导体要求。
Q4：EFU/FFU 的尺寸、接口和外壳材料可以定制以适应我们特定的工艺工具吗？
答（得胜鑫专家回复）：
是的，我们提供全面的定制。在材料方面，我们提供优质的选择，包括耐腐蚀的SUS304/SUS316不锈钢、轻质铝合金和高性价比的 粉末涂层钢。此外，作为直接制造商，我们提供1:1 OEM/ODM深度定制。我们可以根据您的 CAD 图纸精确定制精确的长度、宽度、出风口形状和特殊接线接口，以确保无缝集成。
Q5：在如此紧凑的空间内，后期维护或更换HEPA过滤器难度如何？
答（得胜鑫专家回复）：
我们在设计此 EFU/FFU 时考虑到了长期维护。 过滤器模块和风机 外壳具有高精度配合结构。当 HEPA 过滤器 需要更换时，维护工程师无需拆卸您的大型工艺工具。 过滤器可以直接从指定的检修侧快速高效地换出，像抽屉一样滑出，从而显着减少设备停机时间。
Q6：这些超薄EFU/FFU单元是否支持大规模半导体工厂的大规模智能群控？
答（得胜鑫专家回应）：
完全支持。 得胜鑫的EFU/FFU单元标配高效、智能EC无刷电机，全面支持RS485 Modbus等工业通信协议。这可以无缝集成到您设施的物联网或设施管理控制系统 (FMCS)。您可以同时实现数万台EFU/FFU的无级调速、精确的状态监控和故障报警。
准备好优化您的设备集成了吗？
得胜鑫的专业工程团队随时准备为您的高端工具提供少数洁净空间评估和 3D CAD 支持。
今天给我们发电子邮件：
了解我们的源工厂能力： www.ffu风机.com
