本指南详细介绍了在半导体制造中选择FFU的关键因素，涵盖气流精度，定制，能源效率和合规性。了解量身定制的解决方案如何增强无尘室的性能。

该技术分析探讨了去毒素 FFU通过现实世界中的案例研究和工程基准，可以在半导体和制药无尘室中节省30％的能源，从而证明了30％的能源节省。