超薄 EFU 制造商:利用 DSX 推进半导体洁净室技术
现代半导体工具,例如 EFEM(设备前端模块)、SMT 贴片机和光刻系统,需要 机器然而,可用于空气过滤的垂直空间极其有限。标准的笨重过滤装置根本无法安装,也无法满足光学设备严格的振动要求。 内部具有 ISO 3 级至 5 级环境。
这就是专门的 超薄 EFU(设备 风机 单元) 变得充分必要的地方。这些薄型装置专为密封外壳而设计,可提供所需的向下层流风量,而无需影响设备的结构完整性或机器人路径。
虽然许多供应商仅充当组装商(从各个第三方购买零件),但 DSX 净化 在过去二十年里一直在完善 完全垂直整合的制造供应链.
这就是为什么与 DSX 合作可以保证您的设施具有卓越的投资回报率和性能:
100% 内部生产: 我们在同一屋檐下独立设计和制造所有核心部件。这包括我们专有的 EC/AC 电机 、智能控制板和 HEPA/ULPA 过滤介质。这种对供应链的充分控制消除了中间商加价,确保我们的客户收到具有无与伦比的性价比的设备。
零振动工程: 我们的超薄装置专为半导体行业设计,采用航空级铝制叶轮和动态平衡电机,确保对敏感晶圆加工工具的零微振动干扰。
可扩展的批量订单产能: DSX 拥有大型、更先进的制造工厂,拥有快速满足大规模批量订单的工业实力,确保您的超级工厂或晶圆厂建设按计划进行。
无限定制: 每个无尘室都是独一无二的。无论您需要特定的外壳材料、用于全球出口的定制电压,还是适合特定机器底盘的定制尺寸,我们的研发团队都可以设计您所需的确切设备并制作原型。
除了专用设备级单元之外,管理 无尘室 的宏观环境还需要强大且节能的 风机 过滤器 单元 (FFU) 天花板网格。将我们的智能 EC-电机 驱动单元集成到您的楼宇管理系统 (BMS) 中,使设施管理人员能够实现精确的 风量 控制,同时大幅降低 HVAC 电力成本。
当产品产量和设施运营支出受到威胁时,您不能依赖分散的供应链。选择拥有 20 多年成熟制造经验的合作伙伴。从定制工程到大规模生产,DSX 净化 是您的半导体无尘室技术来源。
观看我们的超薄 EFU 实际操作:
https://youtu.be/XskHUtmszHs