随着半导体制造节点的缩小，对精密、低振动和节省空间的设备的需求猛增。寻找能够满足这些特殊公差同时降低成本的可靠供应商是一项重大挑战。凭借 20 多年的专业知识，吴江得胜鑫 (DSX) 净化 是定制 无尘室 解决方案的一流制造商。通过保持 电机、控制系统和 过滤器 100% 内部生产，DSX 提供为复杂的半导体微型 工况 和大规模批量订单量身定制的高性能、经济高效的设备。
DSX 专门为精密制造行业提供垂直集成的 EFU 解决方案。通过在我们 30,000 平方米的工厂内部制造专有的 EC 电机 和 更好的 过滤器，我们消除了微振动和空气分子污染 (AMC)，确保半导体和高科技制造的产量更大化。
虽然标准 FFU 管理一般空气，但设备 风机 过滤器 单元 (EFU) 是污染控制的特种部队。本指南详细介绍了工程差异，重点介绍 EFU 如何实现敏感半导体工具的零排气和微振动控制