半导体清洁室FFU选择指南| DESHENGXIN高效解决方案
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半导体清洁室FFU选择指南| DESHENGXIN高效解决方案

半导体清洁室升级要素:Deshengxin FFU选择指南
为什么半导体清洁室需求高级FFU系统

半导体制造过程需要超清洁工况,其空气清洁度水平高达ISO 1类。污染物较小至0.12微米可以损害芯片屈服,从而使 FFU (风机 过滤器 过滤器单位) 系统的系统和维持Laminar ramaminar interave laminar 风机 过滤器单位系统至关重要。在Deshengxin 净化设备有限公司,我们专门从事针对半导体应用程序量身定制的Precision Precision FFU单元 ,整合ULPA 过滤器,能源效率电机和智能控制系统以进行优化性能。

半导体设施的FFU选择的关键因素

1。过滤效率:半导体的ULPA vs. HEPA
无尘室,ULPA 过滤器(0.12µm时为99.9995%效率为99.9995%)必须符合ISO 1-3类标准。我们的
FFU 系统结合了ULPA级过滤,超过典型的HEPA性能,并测试了低于0.01%的泄漏率。

2。气流均匀性和噪声控制
不平稳风量破坏了层流模式,增加了污染风险。 DeShengxin的
FFU 单元具有可调风机速度和空气动力学设计,以实现最小风量在58 dB以下操作时偏差,这对于振动敏感的岩石学设备关键。

3。高湾清洁室的自定义
现代工厂通常需要垂直风量配置。我们的
FFU 模块支持高达6米的天花板高度,并且可以与凸起的地板系统集成以进行无缝污染。

为什么选择Deshengxin FFU?

· 完整的内部生产:从过滤器到控制面板,100%自行制造以确保一致性和成本效益。

· 可伸缩解决方案 :能够实现10,000多个单元的订单,非常适合巨型扩展。

· 智能监视:启用IoT的 FFU 系统提供实时粒子计数,并过滤器寿命警报。

案例研究:节能 FFU改造
A 专业服务商半导体制造商在升级到Deshengxin的可变频率
FFU 单位后,将运营成本降低了35%,在维持ISO 2类合规性的同时,可以实现LEED认证。

分步FFU集成提示

1。 审核现有的气流模式:地图粒子浓度区域以优化 FFU 放置。

2。 选择模块化设计:促进未来的升级而不会破坏生产。

3。 验证后安装:根据行业标准进行空中粒子监测。