在光刻中，即使是看不见的微振动也会导致图案模糊和良率损失。本技术指南解释了 FFU风机 如何实现低于 0.5 毫米/秒 (RMS) 的振动水平。我们探索我们的工程方法，包括动态平衡叶轮、减震 电机 安装座以及专为 ISO 1 级光刻区域量身定制的刚性结构设计。
此分析比较了大型半导体工厂中 AC 与 EC 风机 过滤器 单元 (FFU) 的 5 年运营成本。对于连续运行 5,000 个 FFU 的代表性设施，从传统 AC 电机 切换到现代高效 EC (直流) 技术可节省大量成本。根据保守估计，每单位可节省 50 瓦电力，电力成本为 0.10 美元/千瓦时，仅直接电力成本一项设施每年即可节省超过 219,000 美元，五年内总计将超过 100 万美元。由于 EC 电机 的热量排放较低，因此减少了 HVAC 冷却负载，从而实现了额外的显着节省。 得胜鑫 净化设备有限公司通过其“全产业链”优势将这一投资回报率更大化，专门为其FFU制造自己的高性能EC 电机，以具有竞争力的前期成本确保可靠层效率。
使用我们的高性能FFU 风机 过滤器 Unitare升级您的清洁室，您想增强无尘室的空气质量？不过是我们更先进的FFU 风机 过滤器单位。使用HEPA过滤技术，我们的FFU确保您的无尘室保持更好的的空气质量
本综合指南提供了有关正确安装、调试和维护 风机 过滤器 装置 (FFU) 的详细分步说明。它涵盖了安装前规划、安全安装程序、性能验证、操作可靠的实践和故障排除，将得胜鑫定位为无尘室空气净化解决方案方面经验丰富的权威。
本指南概述了关键考虑因素 - 无尘室分类、风量指标、材料质量和合规性 - 以帮助您选择理想的 FFU。包括有关成本优化和可扩展解决方案的见解。
