在光刻中，即使是看不见的微振动也会导致图案模糊和良率损失。本技术指南解释了 FFU风机 如何实现低于 0.5 毫米/秒 (RMS) 的振动水平。我们探索我们的工程方法，包括动态平衡叶轮、减震 电机 安装座以及专为 ISO 1 级光刻区域量身定制的刚性结构设计。

这份深入的指南解决了半导体制造中的关键 FFU 挑战，包括空气分子污染控制、振动管理和 更好的 工艺节点的亚微米颗粒过滤。

使用Deshengxin的专家FFU选择指南升级您的半导体无尘室。发现ULPA过滤，可定制设计以及ISO 1类合规性的节能技巧。

本指南详细介绍了如何 FFU系统 通过精确风量控制，亚微米颗粒过滤和模块化可扩展性来增强半导体制造的产量。了解关键选择标准和现实世界应用程序，以优化无尘室性能。