随着全球半导体行业迅速向亚纳米节点迈进,晶圆制造的误差幅度已缩小至充分零。在这些超敏感的工况中, 风机 过滤器单元(FFU) 和 设备风机 过滤器单元(EFU) 的性能决定了光刻机和蚀刻机等数百万美元设备的良率。
然而,当今的无尘室供应链中存在一个严重的隐藏风险: 过度依赖组装。
目前市场上的许多FFU和EFU品牌本质上都是组装商。他们从 A 公司购买 电机,从 B 公司购买 过滤器,从 C 公司购买控制器,将它们拼凑在一起。虽然这适用于标准 无尘室,但它在 更好的 半导体制造中造成了关键瓶颈,其中微振动、空气分子污染 (AMC) 和系统兼容性必须优良同步。
在 吴江得胜鑫净化设备有限公司 (DSX)处,我们选择了一条不同的路径。我们相信,真正的品质是无法组装的,必须从头开始设计。

为了满足全球晶圆厂和半导体设备制造商的特殊需求,DSX 投入巨资建造了 30,000 平方米的更先进的制造工厂.

我们很自豪能够成为全球少数实现FFU/EFU 系统三个核心组件 100% 内部生产 的制造商之一:EC 电机、过滤器 和智能控制器。
以下是我们的端到端制造方法如何使半导体工厂直接受益:
在更好的光刻中,即使是更轻微的湍流或电机振动也可能导致灾难性的晶圆缺陷。因为我们设计并缠绕我们自己的 EC (直流) 电机,所以我们可以专门为半导体 EFU 定制扭矩和空气动力学曲线。其结果是超低微振动、安静 操作以及现成的 电机 无法实现的卓越能源效率。
达到 ISO 1 级纯度需要的不仅仅是捕集灰尘。当今的晶圆厂面临着空气分子污染 (AMC) 的严重威胁。通过制造我们自己的过滤介质,我们将高效颗粒空气 (HEPA/ULPA) 过滤器 与 更好的 化学品 过滤器 无缝集成。这种双重作用功能可有效中和酸性、碱性和挥发性有机化合物 (VOC),保护昂贵的光学镜片和掩模版。
高性能的 EFU 需要聪明的大脑。我们自主开发的控制系统可以进行实时调整并与晶圆厂的中央监控系统(FMS)无缝集成。此外,利用我们在静电放电 (ESD) 控制方面深厚的专业知识,我们的 EFU 旨在消除静电积聚,防止静电在 风量 过程中损坏敏感微芯片。
当您选择 DSX 时,您并不是在购买拼凑的产品;而是在购买。您正在投资一个完全集成、高度优化的净化系统,该系统由庞大、有弹性的供应链支持。
通过消除中间商并控制 30,000 平方米工厂内制造过程的每一步,我们保证为全球合作伙伴提供充分的一致性、快速定制和无与伦比的可靠性。
S可靠 解决组装的解决方案。 体验真正的端到端制造的力量。
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