虽然标准 FFU 管理一般空气,但设备 风机 过滤器 单元 (EFU) 是污染控制的特种部队。本指南详细介绍了工程差异,重点介绍 EFU 如何实现敏感半导体工具的零排气和微振动控制
这本由 得胜鑫 专家编写的全面常见问题解答指南涵盖了平板显示器制造中的设备 风机 过滤器 单元的技术规格、安装要求和维护策略。
本指南详细介绍了定制 EFU(设备 风机 过滤器 单元)以集成到机械和自动化流程中的重要性。它解释了 DSX 作为专业制造商如何定制气压、风量 速度和物理尺寸等关键因素,以直接在使用点创建有效的局部清洁区域。