在半导体制造中,即使是 0.1μm 的颗粒也会破坏晶圆的完整性。随着工艺缩小至 3nm,得胜鑫 FFU 成为 ISO 1 无尘室 的关键解决方案。本文探讨了其三重过滤器技术,对 0.12μm 颗粒实现了 99.9995% 的效率,CFD 优化的层流风量具有 ±5% 的均匀性,以及人工智能驱动的 ±0.05°C 温度控制。案例研究表明,12 英寸晶圆厂的光刻胶涂层良率达到 98.4%,缺陷减少了 40%。了解为什么全球晶圆厂采用得胜鑫FFU 来应对污染风险,同时将能源成本降低 30%。
在关键行业, ffus 对于污染控制至关重要。本指南概述了选择FFU供应商时需要评估的五个关键因素,强调技术专业知识、定制、合规性、能源效率和售后支持。 得胜鑫 凭借 20 多年的经验和全球合规性脱颖而出。