在半导体制造中，即使是0.1μm颗粒也可以破坏晶圆的完整性。随着过程收缩至3NM，得胜鑫 FFU作为ISO 1 无尘室的关键解决方案出现。本文探讨了其三重 - 过滤器技术在0.12μm颗粒上达到99.9995％的效率，CFD优化的层风量，具有±5％均匀性，AI驱动±0.05°C温度控制。案例研究表明，12英寸Fabs中有98.4％的光孔涂料产率和40％的缺陷降低。了解为什么全局晶圆厂采用得胜鑫 FFU以应对污染风险，同时将能源成本降低30％。