如何EFU（设备风机 过滤器单元）工作：高效空气的核心技术{[T224] }
Introduction
As a 专业服务商 manufacturer with 20+ years of expertise in 无尘室 equipment, 吴江得胜鑫净化设备有限公司 unveils the engineering marvel behind EFU (Equipment 风机 过滤器 Unit) – the precision solution for localized clean zones in semiconductor, pharmaceutical, and electronics industries.
efu是一个直接安装在设备上的独立空气净化模块。与传统的FFU（风机 过滤器单位）不同，efus efus efus提供了目标风量，以保护诸如晶圆制造或疫苗填充之类的关键过程。
关键优势：
节省空间：设备集成的超薄设计（≤150mm）
节能：针对特定于设备的需求进行了优化风量
可定制的：适应于化学/无硼的过滤
步骤1：污染的进气
空气通过初效过滤器 S捕获大颗粒（≥5µm）进入。
步骤2：HEPA/ULPA过滤
多阶段过滤将99.99％的颗粒降低到0.3µm（HEPA）或0.12µm（ULPA）。
步骤3：层流气流传递
EC/直流 电机在设备表面上生成均匀的垂直风量（0.45±0.1 m/s）。
步骤4：连续监视
可选的物联网传感器实时跟踪粒子计数和压力下降。
A.高级过滤媒体
PTFE膜过滤器对于ISO类1 工况
用于药物应用的化学抗性变体
B. B.智能控制系统
可变风机通过触摸屏/PLC接口速度
过滤器替换的自动警报
C. 防振安装
固定螺栓设计可防止微型污染
✔✔半导体：光刻工具，检查机
✔生物技术：隔离器，生物反应器
✔电子：PCB组件，激光切割
完整的内部生产：电机 S，过滤器和控制系统
批量订单功能：大型项目的10多个生产线
自定义解决方案：量身定制的尺寸，材料和风量
