本指南研究了半导体制造中的应用程序，涵盖安装可靠的实践，过滤效率和得胜鑫的OEM优势。
 

发现如何EFU‌技术可为设备提供精确的空气过滤。了解HEPA/ULPA过滤，智能控制和行业应用。

在半导体制造中，即使是 0.1μm 的颗粒也会破坏晶圆的完整性。随着工艺缩小至 3nm，得胜鑫 FFU 成为 ISO 1 无尘室 的关键解决方案。本文探讨了其三重过滤器技术，对 0.12μm 颗粒实现了 99.9995% 的效率，CFD 优化的层流风量具有 ±5% 的均匀性，以及人工智能驱动的 ±0.05°C 温度控制。案例研究表明，12 英寸晶圆厂的光刻胶涂层良率达到 98.4%，缺陷减少了 40%。了解为什么全球晶圆厂采用得胜鑫FFU 来应对污染风险，同时将能源成本降低 30%。

本文探讨了 FFU配备了HEPA 过滤器的S在无尘室 工况中保持卓越的空气质量。它突出了他们为您的无尘室需求选择合适单元的好处，应用和考虑因素。

本文探讨了 高效FFU，它们在无尘室 工况中的重要性以及如何为您的特定需求选择合适的单元。它突出了过滤的好处，风量，能源效率和自定义，以帮助企业维持更好的空气质量。

本指南检查智能 FFU系统'核心技术，行业应用和选择标准。了解Smart 风量管理如何降低操作成本，同时保持严格的污染控制标准。