虽然标准 FFU 管理一般空气,但设备 风机 过滤器 单元 (EFU) 是污染控制的特种部队。本指南详细介绍了工程差异,重点介绍 EFU 如何实现敏感半导体工具的零排气和微振动控制
在半导体制造、制药和生物技术领域的高风险工况中,无尘室管理范式正在发生转变。这不仅仅是维护更长,而是在设备端提供精确的清洁度。这是关键的选择
本指南详细介绍了定制 EFU(设备 风机 过滤器 单元)以集成到机械和自动化流程中的重要性。它解释了 DSX 作为专业制造商如何定制气压、风量 速度和物理尺寸等关键因素,以直接在使用点创建有效的局部清洁区域。
在无尘室污染控制的世界中,了解EFU(设备风机单位)和FFU(风机 过滤器单位)之间的差异至关重要。 得胜鑫的EFU-Equipment- 风机 - 过滤器 - 单元,EFU解决方案为传统FFU无法匹配的设备级别保护提供了独特的优势。本文探讨了这些关键无尘室组件的技术区别和实际应用。