EFU与FFU:全面的技术比较
EFU (设备风机 过滤器单元)
设备级纯化:直接安装在设备上以创建局部干净的区域
典型应用程序:半导体工具,医疗设备,精密仪器

ffu (风机 过滤器单位)
室级净化:天花板安装在整个区域污染控制
行业标准:ISO类1-5 无尘室(≤10颗粒/m³在0.1µm时)

关键见解:FFUS维护全局无尘室条件时,EFUS目标设备特定需求。
| 功能 | | |
|---|---|---|
| 安装 | 将螺栓固定到设备上 | 插入天花板网格 |
| 空气流动 | 150-2500立方米/h | 150-2,500立方米/h |
| { [T307]}选项 | HEPA / ULPA /化学复合材料 | HEPA/ ULPA/无硼的变体 |
| 噪声水平 | ≤60dB | ≤60dB |
技术说明:我们的 FFU 在0.12µm的情况下实现99.9995%的效率,而EC 电机选项。
何时选择EFU: 孤立的设备保护
(例如,晶圆步进)
✔改造现有设施
✔危险物质遏制
何时选择ffu:
完整无尘室认证(ISO/GMP)
✔高 - 风量 工况(例如,Biopharma)
✔模块化清洁区构造
混合解决方案:将这两个结合在一起,以供疫苗填充线等关键过程。
共享功能:
材料选择:不锈钢/铝/除静电涂料
可提供基于IoT的监视
EFU专业:
•紧凑设计(≤150mm高)
•化学过滤器集成
FFU专业:
• 1级认证合规性
•PTFE膜过滤器用于特殊清洁度
决策矩阵:
空间约束→设备的EFU,房间的FFU
ISO 1-3的ISO的监管要求→FFU
预算注意事项→EFU用于目标保护
有关技术图纸和风量的模拟,请与您的工厂计划联系我们的工程团队。
所有规格基于无尘室技术的20多年OEM/ODM经验。