在半导体制造中，维持超平流环境是不可谈判的。作为FFU（风机过滤器单元）创新的领导者已有二十年多了，Wujiang 得胜鑫 Purification Equipment Co.，Ltd专门提供 针对半导体无尘室的精确设计的本指南探讨了选择与行业需求保持一致的同时强调绩效，能源效率和合规性的FFU的关键因素。 FFU系统。
1。半导体无尘室的要求：为什么FFU Matter Matter
Semicicductor制造要求ISO 1-5级洁净室，其中必须控制高达0.1μm的空气中颗粒。先进的 FFU 单元将HEPA/ULPA过滤器与层流气流技术集成，以消除污染物。主要考虑因素包括：
气流均匀性： 确保在晶圆加工区域中逐步去除粒子。
振动控制： 保护敏感的光刻设备至关重要。
化学兼容性： 耐蚀刻过程中使用的材料。
2。用于复杂应用的定制FFU解决方案
标准FFU通常在应对半导体特定挑战方面缺乏。我们定制的 FFU 设计提供：
可变速度控制： 动态调整气流以匹配生产阶段。
紧凑的模块化设计： 优化高密度洁净室布局的空间。
智能监测： 实时粒子数和压降分析的基于IOT的传感器。
3.能源效率和运营成本降低
现代半导体设施优先考虑可持续性。通过以下方式，我们的FFU将能源消耗降低了30-40％。
EC电动机技术： 降低功率降低，而不会损害气流稳定性。
散热优化： 更大程度地减少对温度敏感过程的热干扰。
4。遵守和长期可靠性
遵守半F72和IES标准至关重要。 Wujiang 得胜鑫的 FFU 系统功能：
认证过滤： 粒径为0.12μm的99.999％效率。
生命周期支持： 延长过滤器寿命的预测维护程序。
为什么要与武装武士毒素合作？
20多年的研发重点：半导体级FFU工程的深厚专业知识。
全球项目投资组合：在亚洲，欧洲和北美的晶圆厂中取得了验证的成功。
端到端服务： 从设计到安装，由ISO 9001认证的质量控制支持。
