在半导体制造中，维持UltraClean 工况是不可交易的。作为FFU（风机 过滤器单元）创新的领导者，吴江得胜鑫净化设备有限公司专门提供 针对半导体无尘室}的精确设计的本指南探讨了选择与行业需求保持一致的同时强调绩效，能源效率和合规性的FFU的关键因素。 FFU系统。
1。半导体清洁室的要求：为什么FFU物质
半导体制造要求ISO 1-5级无尘室，其中必须控制空气中的颗粒，必须控制0.1μm。高级 FFU 单元将HEPA/ULPA 过滤器与Laminar 风量技术集成在一起，以消除污染物。主要考虑因素包括：
气流均匀性： 确保在晶圆加工区域中逐步去除粒子。
振动控制： 保护敏感的光刻设备至关重要。
化学兼容性： 耐蚀刻过程中使用的材料。
2。用于复杂应用程序的自定义FFU 解决方案
标准FFU通常在应对特定于半导体的挑战方面缺乏。我们定制的 FFU 设计提供：
可变速度控制： 动态调整风量以匹配生产阶段。
紧凑型模块化设计： 优化高密度无尘室布局的空间。
智能监测： 实时粒子数和压降分析的基于IOT的传感器。
3.能源效率和运营成本降低
现代半导体设施优先考虑可持续性。通过以下方式，我们的FFU将能源消耗降低了30-40％。
EC 电机技术： 降低功率，没有影响 风量稳定性。
散热优化： 最大程度地减少对温度敏感过程的热干扰。
4。遵守和长期可靠性
遵守半F72和IES标准至关重要。 吴江 得胜鑫的 FFU 系统功能：
认证过滤： 粒径为0.12μm的99.999％效率。
生命周期支持： 延长过滤器寿命的预测维护程序。
为什么要与吴江 得胜鑫合作？
20多年的研发重点：半导体级FFU工程的深厚专业知识。
全球项目投资组合：在亚洲，欧洲和北美的晶圆厂中取得了验证的成功。
端到端服务： 从设计到安装，由ISO 9001认证的质量控制支持。
