如何解决 无尘室 中的 ESD(静态)问题?
静电放电 (ESD) 是半导体和电子制造中的一个严重威胁。在得胜鑫,我们利用 20 多年服务这些行业的经验,采用全面、多层次的策略来降低静态风险。
我们的方法涉及三个关键层:
被动预防: 我们的标准 FFU(风机 过滤器 装置) 采用导电 外壳 制造 - 使用高级不锈钢 (SUS) 或专门的 除静电 烤漆 饰面 - 以防止设备本身积聚静电荷。
主动中和: 对于关键过程区域,我们提供 配备集成高性能电离器棒的它们会主动产生平衡的正离子和负离子,以中和晶圆或电子产品上的表面电荷。 电离 FFU 。
受控环境: 我们还提供完整的 ESD 安全工作区,包括 除静电 洁净工作台 和模块化 洁净棚 ,确保敏感操作的安全环境。