EFU 风机 过滤器半导体清洁室中的单位：案例研究和安装指南
作为无尘室解决方案中的20年专家， 吴江得胜鑫净化设备有限公司 专门针对半导体设施制造高性能 efu （设备风机 风机 过滤器单位）系统。本指南探讨了现实世界的应用程序，安装可靠的实践，以及为什么我们的efu 解决方案在精确空气过滤方面的表现优于竞争对手。
1。为什么EFU在半导体制造中至关重要
半导体制造需要 ISO 1-3级工况，以防止微污染损坏晶圆。 efus 提供：
✔✔局部清洁区域 - 直接风量对关键工具（例如，光刻计算机）
✔粒子控制 - 99.99995％的过滤0.12µm（ULPA标准），以振动
的振动效应imim nimim interpection -
案例研究：a 专业服务商 300mm晶圆厂降低了缺陷率，将缺陷率降低40％ 在安装我们的 efus 加上 ptfe膜{[t290] }
2。半导体清洁室中的关键应用
A.光刻区域
防止laminar 风量 （0.45 m/s±10％）防止光值污染
无硼过滤器 避免使用晶片
B。蚀刻和沉积工具
抗化学抗性的Efus 处理酸性/碱性烟雾
启用IOT的监视跟踪过滤器饱和
C.检查与计量站
低渗透风量 确保测量精度
3。安装最佳实践
步骤1：定位
安装安装for 更好的覆盖范围的设备上方设备上方。
避免障碍物（例如，电缆，管道）
步骤2：密封和对齐
使用垫片框架防止空气泄漏
均匀风量分布
步骤3：与设施系统集成
连接到BMS（建筑管理系统） 进行实时调整
实施故障安全功率备份
4。为什么选择得胜鑫 efus？
全部内部生产 - 电机 s，过滤器，并控制（无外包） ✔✔✔✔✔✔✔✔✔
- 不锈钢/铝外壳 s，s，s， 可变风量（[t297]} （ [
t297 ] }（100–3,000 min/h ）线快速交货
