在为一般制造设计无尘室时,设施经理通常优先考虑风量体积和能源消耗。然而,在等工况中 精密计量实验室、电子显微镜室和先进半导体工厂,声学性能和微振动控制成为充分的可靠优先事项。
风机 过滤器 装置 (FFU) 产生的过多噪音不仅会导致操作员疲劳,还会导致操作员疲劳。声波和电机谐波可以将物理振动传递到高度敏感的光学设备,从而破坏纳米级测量和产品产量。
那么,优质低噪音 FFU 的噪音水平应该是多少? 吴江得胜鑫 (DSX) 净化 分解了声学数据和沉默背后的工程。
无尘室 中的噪声通常以分贝为单位,使用 A 计权标度 [dB(A)] 在过滤器 表面下方 1.0 至 1.5 米 处以 0.45 m/s 的标准运行速度进行测量。
标准商用 FFU: 典型的现成 AC 电机 FFU 产生 58 dB(A) 至 65 dB(A)之间的噪音。当数百个这样的单元同时运行时,无尘室 听起来就像工厂车间一样吵闹,导致通信困难并产生严重的谐波共振。
DSX 超静音标准:由 DSX 净化 设计的 真正 低噪声 FFU, 其运行声级显着降低, 在标准运行负载下通常可达到 48 dB(A) 至 56 dB(A) 。
从长远来看,50 dB(A) 相当于安静的现代办公室或安静的图书馆的背景噪音。在大型 无尘室 阵列中,这种 10 分贝的降低在数学上被人耳感知为 标准单位 响度的一半。
在金属盒内放入吸音泡沫不足以解决声学问题。真正的降噪和减振需要从头开始设计 风量 和 电机。
由于 DSX 是一家 100% 垂直整合的制造商,我们通过三项专有技术从源头消除噪音:
1.气动叶轮设计(抑制风噪声)
空气的“呼呼”声是FFU噪声的主要来源。 DSX 工程师利用 更好的 3D 流体动力学设计定制航空级铝制叶轮。这些后倾式离心式导流平稳地穿过空气,防止湍流“涡流”在外壳内部引起轰鸣。
2. EC 电机 谐波抑制(消除机械啸叫)
传统 AC 电机 会受到磁性“嗡嗡声”和机械研磨的影响。 DSX 采用专有的 EC (直流) 无刷 电机 。在我们的智能控制板的驱动下,这些电机具有平稳、无级电子换向,可抑制电气谐波。结果是电机以充分安静和零微振动的方式旋转。
3. 内部隔音和振动隔离
DSX 低噪声 FFU 的内部架构充当消声室。我们设计了风量通道,在空气到达 HEPA 过滤器之前轻轻地扩散空气。此外,电机 使用专门的隔振阻尼器安装,确保旋转 电机 的动能不会转移到金属 外壳 或 无尘室 天花板网格。
当您的流程涉及扫描电子显微镜 (SEM)、光刻或关键生命科学时,声学完整性与空气纯度同样重要。
不要让现成的大声振动的风机损害您的精密设备。