在传统的无尘室中，主要焦点是控制物理颗粒物（灰尘）。然而，随着半导体节点缩小到亚纳米级别以及生物技术变得更加复杂，一个新的、看不见的敌人出现了： 空气分子污染物 (AMC) 和 挥发性有机化合物 (VOC).
为了对抗这些化学气体，标准的风机 过滤器单位是不够的。您需要 化学过滤器 FFU.
作为更好的 无尘室设备的专业服务商制造商， 吴江得胜鑫 (DSX) 净化 详细介绍了这两个系统之间的定义和关键差异。
标准风机 过滤器单元（FFU）旨在捕获固体物理颗粒。
它利用物理屏障，通常是由超细玻璃纤维或 PTFE 制成的 HEPA（高效颗粒空气） 或 ULPA 过滤器。它就像一张微观网，以物理方式捕获小至 0.3μm 或 0.12μm 的灰尘、皮屑和细菌。
限制： 它不能捕获气体。有害的化学蒸气会直接穿过 HEPA 过滤器，就像水穿过渔网一样。
化学 过滤器 FFU （也称为气相FFU）经过专门设计，可在分子水平上去除不可见的气态污染物。
它不依赖物理网，而是使用 化学吸附。 过滤器介质通常由经过特殊处理的活性炭、浸渍氧化铝或离子交换树脂组成。当受污染的空气通过时，化学气体与介质发生反应，并被持久捕获或中和在过滤器孔内。
1. 目标污染物（它们捕获什么？）
标准FFU： 捕获物理颗粒（PM2.5、灰尘、花粉、细菌）。
化学 FFU： 捕获气体分子（VOC、SO2/HF 等酸性气体、氨/NH3 等碱性气体和掺杂剂）。
2. 过滤器 材料 机制
标准 FFU： 通过褶皱 过滤器 纸使用机械过滤（拦截、冲击和扩散）。
化学FFU： 采用化学吸附和物理吸附。该介质具有高度多孔性，通常经过化学浸渍，以针对特定的气体族。
3. 电机 功率 和空气动力阻力（工程挑战）
对于设施工程师来说，这是更关键的区别。
标准 FFU： HEPA 过滤器 的 阻力 相对较低（初始压降约为 100-120 Pa）。标准 AC 电机 可以轻松处理这个问题。
化学 FFU： 化学物质 过滤器 又厚又重，并填充有碳颗粒或致密介质。这会产生 巨大的压降（高空气动力学阻力） 。如果您将化学品 过滤器 放置在标准 FFU 电机 上，电机 将停转、过热或输送零 风量。
许多设施会犯这样的错误：简单地将化学品过滤器放置到标准FFU上，专业服务商导致灾难性的风量故障。
在 DSX 净化 ，我们从头开始设计化学 过滤器 FFU：
高扭矩 EC 电机： 由于我们在内部制造自己的 EC (直流) 电机，因此我们专门对其进行缠绕以提供极高的静压。我们的电机轻松克服化学过滤器的密集阻力，同时保持连续、稳定的层流风量。
定制化学品材料： 我们不提供“一刀切”过滤器。无论您的半导体光刻台需要消除酸性 AMC 以防止晶圆腐蚀，还是您的实验室需要去除氨（碱性 AMC），DSX 都可以提供根据您的具体工艺环境量身定制的定制浸渍化学品 过滤器。
不要让看不见的气体破坏您的敏感流程和产品产量。
