在半导体制造中，即使是一个微米大小的粒子也可能破坏数百万美元的硅晶片。随着过程节点收缩到3NM及以后， 洁净室空气净化解决方案 必须提供前所未有的精度，可靠性和适应性。二十年来，Wujiang DeShengxin Purification Equipment，Ltd已设计了优化 FFU（风机过滤器单元） 和量身定制的针对半导体工厂，研发实验室和包装设施的污染控制系统。本指南探讨了选择与ISO 1-3级标准同时优化运营成本的空气净化技术的关键注意事项。
粒子污染在芯片制造中导致65％的产量损失。有效的空气净化系统必须解决：
超细粒子控制：以> 99.995％的效率捕获0.1μm颗粒（MPP标准）
静态电荷缓解：防止静电放电（ESD）破坏敏感组件
化学过滤：去除AMC（空气传播的分子污染物），例如酸和掺杂剂
能源优化：减少HVAC负载，同时保持层流气流
我们的ISO 14644-18认证的 FFU单元 将H14 HEPA/ULPA过滤器与抗静态涂层集成，在ISO 1类环境中以0.1μm的速度实现<1粒子/ft⊃3;。
可变EC电动机根据实时粒子计数调整风机速度
空气动力学优化的全体会将湍流减少40％与传统模型相比
0.3-0.45m/s的面部速度为±5％均匀性
启用物联网的传感器跟踪差异，温度和湿度
预测维护警报（18-24个月的寿命）
与BAS/BMS的兼容性，用于整个设施的集成
不锈钢/聚丙烯外壳，用于腐蚀性气体电阻
24/7失败操作的冗余风机阵列
改造装置的低调设计（150-300mm高）
| 因素 | 传统的FFU | DESHENGXIN SMART FFU |
能源消耗 | 120W/m² | 75W/m²（-37.5％） |
更换过滤器 | 12个月的周期 | 12-24个月周期 |
停机费用 | $ 8,500/事件 | 预测警报 |
产生改善 | 基线 | +0.15-0.25％ |
基于在ISO 3类中运营的10,000m²工厂
特定于行业的专业知识：为TSMC，三星和SMIC供应商服务20多年
认证：ISO 9001，IEST和SEMI F47合规性
自定义容量：200多个用于独特洁净室布局的模块化配置
本地支持：亚洲/欧洲/北美的48小时现场技术响应
可持续性重点：92％可回收组件和碳中性制造
AI驱动的污染预测：分析10,000多个数据点以预测粒子事件的机器学习模型
纳米纤维过滤介质：压力下降比玻璃纤维HEPA低30％
绿色能源整合：净零fab的太阳能FFU阵列
结论
在1万亿美元的半导体行业中，空气净化系统是战略资产，而不是开销。 Wujiang 得胜鑫的 FFU解决方案 将20年的无尘室工程专业知识与更先进的物联网和能源恢复技术相结合。从200mm旧线到450mm EUV Fabs，我们提供了污染控制系统，可通过您的路线图进行扩展。
立即与我们的工程师联系，进行免费的无尘室气流模拟和ROI分析。
