在半导体制造中，即使是一个微米大小的粒子也可能破坏数百万美元的硅晶片。随着过程节点缩小到3NM及以后， 无尘室空气净化解决方案 必须提供前所未有的精度，可靠性和适应性。 吴江得胜鑫净化设备有限公司 更好的 定制了 ffu（风机 过滤器单位）和污染控制系统 针对半导体Fabs，R&D Labs和包装设施量身定制的污染控制系统。本指南探讨了选择与ISO 1-3级标准同时优化运营成本的空气净化技术的关键注意事项。
粒子污染在芯片制造中导致65％的产量损失。有效的空气净化系统必须解决：
超细粒子控制：以> 99.995％的效率捕获0.1μm颗粒（MPP标准）
静态电荷缓解：防止静电放电（ESD）破坏敏感组件
化学过滤：去除AMC（空气传播的分子污染物），例如酸和掺杂剂
能量优化：减少HVAC负载，同时保持层流风量
我们的ISO 14644-18认证的 FFU单元 将H14 HEPA/ULPA 过滤器与除静电涂层一起，在ISO 1类工况中实现<1粒子/ft⊃3;的涂料，在0.1μm中实现<1粒子/ft？。
可变EC 电机根据实时粒子计数调整风机速度
空气动力学优化的全体会将湍流减少40％与传统模型相比
0.3-0.45m/s的面部速度为±5％均匀性
启用物联网的传感器跟踪压差，温度和湿度
过滤器替换（18-24个月寿命）的预测维护警报
与BAS/BMS的兼容性，用于整个设施的集成
不锈钢/聚丙烯外壳 s腐蚀性气体电阻
冗余风机 24/7 Fail-SAFE操作的数组
改造装置的低调设计（150-300mm高）
| 因素 | 传统的FFU | 得胜鑫 Smart FFU |
能源消耗 | 120W/m² | 75W/m²（-37.5％） |
过滤器替换 | 12个月的周期 | 12-24个月周期 |
停机费用 | $ 8,500/事件 | 预测警报 |
产生改善 | 基线 | +0.15-0.25％ |
基于在ISO 3类中运营的10,000m²工厂
特定于行业的专业知识：为TSMC，三星和SMIC供应商服务20多年
认证：ISO 9001，IEST和SEMI F47合规性
自定义容量：唯一无尘室布局的200+模块化配置
本地支持：亚洲/欧洲/北美的48小时现场技术响应
可持续性重点：92％可回收组件和碳中性制造
AI驱动的污染预测：分析10,000多个数据点以预测粒子事件的机器学习模型
纳米纤维过滤介质：压力下降比玻璃纤维HEPA低30％
绿色能源整合：净零fab的太阳能FFU阵列
结论
在1万亿美元的半导体行业中，空气净化系统是战略资产，而不是开销。 吴江 得胜鑫的 FFU解决方案 将20年的无尘室工程专业知识与尖端IoT和能量恢复技术结合在一起。从200mm旧线到450mm EUV Fabs，我们提供了污染控制系统，可通过您的路线图进行扩展。
立即与我们的工程师联系以获取免费无尘室 风量仿真和投资回报率分析。
