实现并维护 ISO 5 环境(以前称为 Class 100)是一项复杂的工程壮举。符合 ISO 5 标准的空气 过滤器 是防止微观污染的主要屏障,确保半导体工厂和制药灌装线中的敏感工艺不受影响。
根据 ISO 14644-1 ,ISO 5 级无尘室必须将颗粒浓度限制在以下阈值:
≥0.1μm:更大100,000个颗粒/立方米
≥0.5μm:更大 3,520 个颗粒/立方米
≥5.0μm:从分类表中删除(静态时相当于GMP B级)。
虽然通过高质量 HEPA 过滤器 可以实现 ISO 5,但许多 1 级设施正在转向 ULPA,以获得额外的安全边际:
HEPA H14: 0.3μm 处效率为 99.995%。适用于大多数制药和医疗应用。
ULPA U15: 0.12μm 处的效率为 99.9995%。推荐用于更好的半导体光刻和纳米技术。
作为一家 垂直整合的制造商,得胜鑫 (DSX) 优化了整个 净化 系统,而不仅仅是 过滤器 介质:
气流稳定性: 我们的 FFU 和 EFU 装置 由内部 电机 提供动力,确保恒定的层流速度为 0.45m/s±5%——ISO 5 均匀性的基准。
零泄漏密封: 我们专注于 凝胶密封(液体密封)技术,该技术为( https://www.ffu风机.com/hepa-过滤器.html )提供故障安全气密接口,防止规避空气进入受污染的静压室。
100% 工厂验证: 每台设备均经过 Class 100 车间 自动 PAO/DOP 扫描测试,以确保符合 EN 1822 和 ISO 29463 标准。
环境 | 颗粒限值(≥0.5μm) | 推荐的 DSX 过滤器 | DSX 推荐 ACH |
ISO 5(100级) | 3,520/立方米 | HEPA H14 / ULPA U15 | 240 – 480 |
GMP A级 | 3,520/立方米(运行中) | 凝胶密封 HEPA H14 | 单向流 |
GMP B级 | 3,520/立方米(静止时) | 迷你褶皱 HEPA H14 | 40 – 60(更低) |
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