平板显示器 (FPD) FFU 常见问题解答：完整答案和提高产量的关键
在竞争激烈的平板显示器行业中，微小颗粒可能会导致大尺寸面板出现致命缺陷，因此维持更好的 无尘室环境对于生产良率至关重要。 风机 过滤器 装置 (FFU) 在保护这些敏感制造过程中发挥着至关重要的作用。以下是有关 FFU 在 FPD 制造中应用的基本常见问题解答。
FPD 制造需要极其严格的 无尘室 标准：
LCD 生产： 通常需要 ISO 4-5 级（10-100 级）
OLED 制造： 通常需要 ISO 3-4 级（1-10 级）或更高级别
先进工艺 (MicroLED)： 可能需要 ISO 2-3 级条件
要求因面板尺寸和工艺节点而异 - 较大的面板和更精细的图案需要更高的清洁度水平。我们 专业的 FPD FFU 解决方案 旨在满足这些严格的标准。
正确配置的 FFU 可解决多种缺陷机制：
粒子污染控制
使用 ULPA 过滤器 进行亚微米颗粒过滤（对 0.12μm 颗粒的效率为 99.9995%）
稳定的层流风量可防止颗粒在基材上沉降
更大限度地减少可能重新分布沉降颗粒的湍流
静电放电 (ESD) 保护
除静电 FFU施工材料
用于电荷中和的离子发生器集成选项
防止静电累积的接地系统
化学污染预防
用于 AMC（空气分子污染）控制的可选化学过滤
不锈钢外壳用于腐蚀性工况
密封结构，防止外部污染
气流性能
速度：0.35-0.45 m/s ±5%均匀度
湍流水平：<5% 变化
气流方向：首选垂直层流
过滤效率
适用于关键流程的 ULPA 过滤器（U15 或更高）
HEPA 过滤器 (H14) 适用于不太敏感的区域
过滤器 完整性测试符合 IEST 标准
振动控制
低振动 风机 系统 (<1.5 mm/s)
平衡叶轮设计
隔振安装选项
阵列工艺（薄膜晶体管形成）
更高清洁度要求（ISO 3-4 级）
需要全面的化学过滤
严格的振动控制规范
电池工艺（LC 注射和组装）
ISO 4-5 级环境
专注于颗粒控制
除静电 关键设备功能
模块流程（更终组装）
ISO 5-6 级通常就足够了
性能和运营成本之间的平衡
灵活配置，适应不同产品尺寸
FPD 工厂消耗大量能源，因此效率至关重要：
电机技术
EC 电机 比 AC 电机 节能 40-60%
根据需求进行精确的速度控制
较低的热量产生减少了 HVAC 负载
系统设计
针对不同洁净度要求的分区控制
非生产时变风量运行
智能控制系统可优化性能
我们的 节能 FFU 设计 有助于降低运营成本，同时保持性能。
预防性维护计划
定期过滤器完整性测试（每 6-12 个月一次）
气流速度验证（每季度）
电机和控制系统检查
监控系统
实时压差监测
粒子计数器集成
用于早期故障检测的振动分析
性能文档
全面的验证协议
定期绩效趋势分析
符合 FPD 行业标准
尺寸和配置
现有 无尘室 改造的非标准尺寸
适用于有限天花板空间的薄型设计
定制安装系统
特色
集成照明系统
用于过程观察的观察窗
应急备用电源选项
化学过滤附加装置
控制集成
建筑管理系统 (BMS) 兼容性
远程监控
数据记录以确保合规性
行业经验
FPD 行业的良好记录
了解具体工艺要求
主要面板制造商的参考项目
技术能力
内部设计和工程专业知识
满足独特需求的定制能力
测试和验证设施
质量保证
ISO 9001质量管理体系
ULPA 过滤器 认证
性能验证文档
智能FFU系统
支持物联网的性能监控
预测性维护能力
能量优化算法
先进材料
纳米涂层表面更容易清洁
复合材料减轻重量
抗微生物治疗
积分解决方案
与 mini工况 无缝集成
工艺设备的自动化控制
实时产量相关性分析
减少缺陷
通过适当的过滤减少与颗粒相关的缺陷
通过静电控制预防 ESD 损坏
通过 AMC 控制消除化学污染
工艺稳定性
一致的环境减少了过程变化
稳定的温湿度控制
精密加工过程中振动更小
节省成本
降低面板报废率
降低能耗
通过适当的维护延长过滤器寿命
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