半导体制造需要超清洁工况以最大程度地减少污染引起的缺陷。 FFU （风机 过滤器单元）系统在维持ISO 1-5级无尘室方面起着关键作用，通过控制空中粒子直接影响芯片产量。本指南探讨了更好的 FFU技术如何优化生产效率，降低废物并确保遵守严格的行业标准。
影响芯片产量的关键因素
精密气流控制
FFUS以均匀的速度传递层流风量，从而消除了分散颗粒的湍流。可自定义的配置可确保针对敏感过程（如光刻或晶圆处理）的目标覆盖范围。 了解我们针对 半导体无尘室量身定制的FFU解决方案。
FFUS中的亚微米颗粒过滤
HEPA/ULPA 过滤器捕获99.99％的颗粒≥0.3μm，对于预防纳米级电路的缺陷至关重要。常规维护方案确保持续过滤效率。
节能设计
变量速度电机和低阻力风量路径将能源消耗降低多达40％，与没有影响性能的可持续性目标保持一致。
模块化可伸缩性
FFU的支持灵活无尘室布局，从而可以快速重新配置生产线或设施扩展。
案例研究：300mm晶圆厂的FFU实施
A 专业服务商半导体制造商在升级到模块化FFU系统后，将与粒子相关的缺陷降低了68％。定制风量模式和实时监控降低了22％，使年收益率提高了15％。
选择正确的FFU系统
合规性： 确保遵守ISO 14644和IES标准。
自定义： 选择具有可调风量（例如，0.3-0.45 m/s）和过滤器冗余的FFU。
降噪： 选择具有≤52dB操作的单元以进行工人舒适。
