对于半导体的铸造厂与低5 DPPM缺陷率或需要EU GMP Annex 1合规性的制药工厂,气流管理不仅仅是基础设施,而且是屈服保护。在Wujiang 得胜鑫净化设备中,我们的23年 FFU 工程经验通过智能过滤体系结构解决了这些关键任务需求。
1。粒子战:多层过滤物理
与标准的HEPA过滤器不同,我们的FFU系统实施了<0.5μm光孔抗副产品的努力:
梯度密度ULPA介质:5阶段渐进式捕获矩阵在0.12μm颗粒上达到99.999%的效率(每个IEST-RP-CC007)
抗静态褶设计:消除了由干洁净室中静电吸引引起的87%的过滤器堵塞
EC电动机协同作用:尽管过滤器加载,但仍在±5%方差内保持0.45m/s的面部速度
案例研究:使用我们的 FFU 阵列和实时压降补偿的FFU阵列 ,300mm晶圆厂将光刻区域AMC降低了62% 。
2。行业批准的部署策略
2.1半导体制造
横流优化: 3D气流建模在EUV光刻工具上创建单向层流(≤±10%速度偏差)
振动控制: <2.5μmRMS振动规格防止叠加误差在7nm过程中
2.2无菌药物生产
GMP附件1准备就绪: 连续粒子监测的整合≤3cfu/m³bio-burten Control
CIP兼容性: 不锈钢外壳承受蒸发的过氧化氢去污染周期
2.3新兴技术应用程序
电池gigafactories: 电极干燥期间的NIMH颗粒捕获可防止微短电路
mRNA疫苗设施: 我们的A级 FFU 系统帮助Wuhan Biotech实现了100%无菌小瓶检查通行证
3。SmartO&M:从千瓦时节省到碳中立
我们自我开发的物联网平台将FFU集群转变为预测性维护资产:
AI驱动负载平衡: 通过动态占用感知,将风机阵列阵列消耗降低38%
过滤器生命周期跟踪: RFID标签可实现及时更换,削减处置成本51%
碳会计模块: 江苏太阳能电池板制造商的减少/年减少了120吨CO2E
专家提示: 询问我们的再制造计划 - 92%的退休FFU组件被重新用于升级的单元。