芯片晶圆厂和无菌实验室的工程FFU系统| 得胜鑫 20多年的专业知识
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芯片晶圆厂和无菌实验室的工程FFU系统| Deshengxin 20多年的专业知识

精密空气控制:DeShengxin FFU系统如何提高洁净室性能

对于半导体的铸造厂与低5 DPPM缺陷率或需要EU GMP Annex 1合规性的制药工厂,气流管理不仅仅是基础设施,而且是屈服保护。在Wujiang 得胜鑫净化设备中,我们的23年 FFU 工程经验通过智能过滤体系结构解决了这些关键任务需求。

1。粒子战:多层过滤物理

与标准的HEPA过滤器不同,我们的FFU系统实施了<0.5μm光孔抗副产品的努力:

  • 梯度密度ULPA介质:5阶段渐进式捕获矩阵在0.12μm颗粒上达到99.999%的效率(每个IEST-RP-CC007)

  • 抗静态褶设计:消除了由干洁净室中静电吸引引起的87%的过滤器堵塞

  • EC电动机协同作用:尽管过滤器加载,但仍在±5%方差内保持0.45m/s的面部速度

案例研究:使用我们的 FFU 阵列和实时压降补偿的FFU阵列 ,300mm晶圆厂将光刻区域AMC降低了62% 。

2。行业批准的部署策略

2.1半导体制造

  • 横流优化: 3D气流建模在EUV光刻工具上创建单向层流(≤±10%速度偏差)

  • 振动控制: <2.5μmRMS振动规格防止叠加误差在7nm过程中

2.2无菌药物生产

  • GMP附件1准备就绪: 连续粒子监测的整合≤3cfu/m³bio-burten Control

  • CIP兼容性: 不锈钢外壳承受蒸发的过氧化氢去污染周期

2.3新兴技术应用程序

  • 电池gigafactories: 电极干燥期间的NIMH颗粒捕获可防止微短电路

  • mRNA疫苗设施: 我们的A级 FFU 系统帮助Wuhan Biotech实现了100%无菌小瓶检查通行证

3。SmartO&M:从千瓦时节省到碳中立

我们自我开发的物联网平台将FFU集群转变为预测性维护资产:

  • AI驱动负载平衡: 通过动态占用感知,将风机阵列阵列消耗降低38%

  • 过滤器生命周期跟踪: RFID标签可实现及时更换,削减处置成本51%

  • 碳会计模块: 江苏太阳能电池板制造商的减少/年减少了120吨CO2E

专家提示: 询问我们的再制造计划 - 92%的退休FFU组件被重新用于升级的单元。


作为中国洁净室设备领域的专业服务商,我们具备以下核心优势: • 经验丰富的销售团队 • 多元化的供应商资源 • 覆盖全国的服务网络 • 完善的一站式服务体系

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