EFU（设备风机 过滤器单位）是无尘室中使用的设备，与常见的FFU（风机 过滤器单位）相似，但是两者之间存在一些差异。
EFU专为设备应用而设计，例如光刻计算机，储藏器，索引器，涂料器和清洁机，而FFU通常在无尘室中使用并安装在天花板上。
在安装方面，FFU是独立的设备，通常借助重力和过滤器和天花板网格的重力和密封安装，水平安装在天花板上。另一方面，EFU具有更复杂的安装过程。 EFU盒和过滤器通常与螺栓和螺母一起固定，然后使用专用的安装括号和螺栓将EFU单元牢固地固定在设备上。
此外，与FFU相比，EFU具有不同的规格，材料要求，维护方法，控制系统和操作参数。 EFU的厚度，尺寸和材料要求是专门设计的，以满足设备应用的要求。维护方法也可能会有所不同，具体取决于EFU的特定设计和配置。 EFU中使用的控制系统可能与FFU中使用的控制系统不同，并且操作参数（例如风量）和压力也可能是根据设备需求而专门定制的。
总体而言，EFU和FFU具有不同的应用程序，安装方法，规格和操作参数，在不同的无尘室 工况中突出显示其独特的功能和功能。
