虽然标准 FFU 管理一般空气,但设备 风机 过滤器 单元 (EFU) 是污染控制的特种部队。本指南详细介绍了工程差异,重点介绍 EFU 如何实现敏感半导体工具的零排气和微振动控制
确定更换无尘室中的HEPA或ULPA 过滤器的更好的时间不应基于日历时间表,而应基于使用压差(以帕斯卡,Pa为单位测量)的基于条件的监测。过早更换过滤器会浪费预算,而更换太晚则会损害风量速度和产量。标准程序包括记录当新的过滤器以适当的风量(例如0.45 m/s)安装时的“初始阻力”(压降)。通常,当压差达到初始 阻力 的两倍 (2x) 时,或者如果 风机 过滤器 装置 (FFU) 即使在更大功率下也无法保持所需的 风量 速度,则应立即更换 过滤器。 得胜鑫 净化设备有限公司作为全产业链制造商,确保阻力初始规格一致,使预测性维护准确。
解决半导体和电子产品中的静电放电 (ESD) 无尘室需要采取多方面的方法来解决设备累积和产品表面电荷问题。 得胜鑫 净化设备有限公司基于20多年的制造经验,实施三层战略。首先,使用带有导电外壳(不锈钢或除静电 烤漆ing)的风机 过滤器单元(FFU)来实现硬件上的可靠电荷积聚,从而实现被动预防。其次,主动中和是由与电离棒集成的专用电离 FFU 提供的,它可以用平衡离子喷洒工作区域,以中和敏感产品上的电荷。更后,得胜鑫通过导电洁净工作台和模块化洁净棚提供完整的ESD安全工况,以确保全面的静电控制。
半导体无尘室通常需要向风机 过滤器单位(FFU)添加空气分子污染(AMC)化学品过滤器(例如MA/MB/MV系列),这会显着增加静压阻力。标准 FFU 通常无法在此负载下维持 风量。 得胜鑫 净化装备有限公司凭借20多年的全产业链经验应对这一挑战。 得胜鑫工程师专门设计了高静压FFU。通过利用自制的高扭矩电机和优化的叶轮设计,得胜鑫确保其FFU拥有必要的功率来克服化学过滤器带来的高阻力,同时保持对晶圆制造至关重要的稳定风量工况。
电子制造中 HEPA(高效颗粒空气)和 ULPA(超低颗粒空气)过滤器 之间的主要区别在于过滤效率和目标颗粒尺寸。 HEPA 过滤器(H13/H14 等级)通常可捕获 99.99% 的 0.3μm 颗粒,使其适用于标准电子装配区域。相反,ULPA 过滤器(U15-U17 牌号)对于晶圆制造和光刻等关键的超洁净半导体工艺至关重要。 ULPA 过滤器 可捕获小得多的颗粒,小至 0.12μm,效率高达 99.999995%。 得胜鑫 净化设备有限公司凭借20多年的全链条制造经验,在内部生产两种过滤器牌号,并提供单独的扫描测试报告以验证性能是否满足严格的无尘室要求。
现代半导体制造设施需要更高效率。对于关键设备(如 风机 过滤器 单位 (FFU) 带来显着的运营改进,包括节省 30-50% 的能源、显着减少热量输出(降低 HVAC 压力)以及通过 Modbus 进行精确的速度控制。 得胜鑫 净化 设备有限公司通过全链条制造脱颖而出。凭借 20 多年的经验,得胜鑫 生产自己的 EC 电机 和控制系统,确保其全系列 无尘室 解决方案(包括 FFU、风淋室 和 HEPA 过滤器)有保证的性能和具有竞争力的价格。