DSX (吴江得胜鑫净化设备有限公司) 为制药和生命科学行业提供垂直集成的 EFU 解决方案。利用我们 30,000 平方米的设施和专有的 EC 电机，我们生产无菌级 EFU（304/316L 不锈钢），确保无菌加工和实验室 工况 的精确风量控制和严格的 GMP 合规性。

DSX 专门为精密制造行业提供垂直集成的 EFU 解决方案。通过在我们 30,000 平方米的工厂内部制造专有的 EC 电机 和 更好的 过滤器，我们消除了微振动和空气分子污染 (AMC)，确保半导体和高科技制造的产量更大化。

在现代科学研究中，达到 ISO 标准的空气纯度仅仅是一个开始。无论是在半导体研发、生物技术还是精密计量领域，设备内部的环境与无尘室本身一样重要。这就是装备 风机 过滤器 单位 (EFU) 变得不可或缺的地方

随着半导体节点的缩小，传统的 FFU 组装已无法满足要求。了解 得胜鑫 (DSX) 如何利用 30,000 平方米的设施在内部制造核心组件，为全球晶圆厂提供无与伦比的 ISO 1 级纯度、AMC 控制和微振动稳定性。

在光刻中，即使是看不见的微振动也会导致图案模糊和良率损失。本技术指南解释了 FFU风机 如何实现低于 0.5 毫米/秒 (RMS) 的振动水平。我们探索我们的工程方法，包括动态平衡叶轮、减震 电机 安装座以及专为 ISO 1 级光刻区域量身定制的刚性结构设计。

空气分子污染 (AMC)——分类为酸 (MA)、碱 (MB)、可冷凝物 (MC) 和掺杂剂 (MD)——对 10 纳米以下半导体工艺构成严重威胁。本技术指南详细介绍了如何使用 双级过滤策略。我们分析从传统玻璃纤维到 低释气 PTFE 介质 防止硼污染并解释其作用 离子交换化学品 过滤器 保护敏感的光刻和蚀刻区域。”