作为无尘室设备制造业的20年专家, 吴江得胜鑫净化设备有限公司 提供了这份全面的efu EFU 选择指南,以帮助专业人士为其关键工况做出明智的决定。
hepa 过滤器 :99.97% @0.3µm(ISO 5-8类)
ulpa 过滤器 :99.99995% @0.12µm(ISO类1-3)
专业选项:半导体应用的无硼(PTFE)
标准范围: 0.35-1.8 m/s (可调节)
可自定义的CFM值针对特定于设备的需求
不锈钢:制药/生命科学
烤搪瓷钢:通用行业
铝:轻量级应用
✔ULPA过滤用PTFE膜
✔振动阻尼振动安装
✔化学过滤用于蚀刻/沉积工具
✔✔不锈钢{
[ t295 ]
} s✔✔✔✔✔
ESD - SAFE
材料✔✔✔✔✔✔✔✔✔✔工具
集成✔✔✔✔✔✔✔✔✔
| 功能 | 标准EFU | 高级EFU | 自定义解决方案 |
|---|---|---|---|
| 过滤 | HEPA(99.97%) | ULPA(99.99995%) | 专业媒体 |
| 空气流动 | 0.35-0.45 m/s | 0.45-0.55 m/s | 可编程 |
| 噪音水平 | ≤60dB | ≤60dB | 超级 |
| 控制 | 手动速度 | 聪明的物联网 | 完整的BMS集成 |
✔✔ -完全控制质量
✔10 +生产线-批量订单能力
✔工程师到订单-自定义尺寸/功能