在迅速发展的半导体行业中,围绕ULPA(超低渗透空气)过滤器的必要性与他们的潜在成本含义的辩论比以往任何时候都更加相关。如吴江得胜鑫净化设备有限公司,在开发和制造 FFU(风机 过滤器单位) 和其他纯化设备方面具有超过二十年的经验,我们对此至关重要的观点可靠 IC提供了全面的看法。我们垂直集成的生产过程,包括风机,控制系统和过滤器,可确保无与伦比的质量和成本效益。本文旨在为寻求合适的FFU解决方案的读者提供宝贵的见解,确保专业精神和参与度,并为更好的 Google索引和排名量身定制。
半导体晶圆厂需要严格的清洁水平,以达到高收率和可靠性。 ULPA 过滤器具有捕获效率为99.995%的0.12微米的颗粒的能力,在诸如EUV光刻和更好的 CMP区域的关键区域中至关重要。但是,他们较高的初始成本和维护要求通常会引起有关成本效益的问题。
FFU 是无尘室 工况的骨干,提供了局部的空气净化。我们的FFU带有内部生产的组件,在更好的过滤技术与经济可行性之间提供了平衡。
对于靶向低于3nm的Fabs, 由于其严格的粒子控制能力, 它们更大程度地降低了污染风险,从而确保了高质量的设备生产。 ULPA 过滤器是必不可少的。
虽然ULPA 过滤器提供了出色的过滤,但它们通常具有较高的初始阻力和能耗。我们的FFU包含节能设计,例如可变频率驱动并优化风量模式,以减轻这些成本。
由于较高的粒子载荷,ULPA 过滤器的寿命可以更短。我们的预测性维护解决方案和过滤器管理程序有助于延长过滤器寿命并减少计划外停机时间。
作为全链制造商,我们可以 自定义FFU ,以满足特定的FAB要求,从过滤器效率到系统集成。我们的可扩展生产能力确保及时交付大订单。
A 专业服务商半导体制造商更近升级了无尘室,将 ULPA FFU包括 在关键区域,同时选择在较不敏感的区域中选择具有成本效益的HEPA FFU。我们的混合解决方案结合了ULPA和HEPA技术,达到了平衡的方法,降低了整体成本,而没有影响清洁度。