ESD安全的FFU如何工作:保护敏感环境免受静电损伤
在超干净的制造业中工况,例如半导体植物,药物实验室和微电子设施, ESD-SAFE FFU(风机 风机 过滤器单位) 作为抵抗昂贵的昂贵静电排放的第一线。作为在自定义无尘室解决方案中拥有20多年经验的领导者,吴江得胜鑫净化设备有限公司。解释了这些专门的污染控制系统背后的科学。
静电排放(ESD)会永久损坏微芯片,医疗设备和精确仪器 - 损失通常超过半导体晶圆厂每次事件的500万美元。传统的 FFU 单位过滤器粒子,但缺乏除静电功能,使ISO 14644 1-5级至关重要的ESD-SAFE升级至关重要。
我们的ESD保护的FFUS与连续接地点相结合的 HEPA 过滤器 (表面电阻率<10^6Ω/sq)和铝合金外壳 s。这产生了法拉第笼子的效果,将静态电荷安全地引入地球,而不是允许危险的积累。
风量路径中的专利针 - 点电离器对通过材料的电荷中和 - 处理聚合物或玻璃基板时至关重要。实时传感器保持±15V平衡(标准FFU中的±200V),符合ANSI/ESD S20.20的遵守。
低扰动风量(0.45 m/s±20%)最大程度地减少了摩擦引起的充电。与常规相比,我们的CFD优化叶片设计将颗粒重悬于73% 。 FFU 模型
ESD安全的FFU在以下方面证明是必不可少的:
晶圆制造: 防止3nm芯片生产中的氧化门破裂
药瓶: 消除生物制剂中静态诱导的蛋白质聚集
航空航天光学器件: 保护装配过程中的抗反射涂料
除了现成的解决方案之外,我们还可以通过以下方式设计:
可调电离强度(50-500离子/cm³)
电阻率测试的ULPA 过滤器(99.9995% @0.12μm)
ERP综合监测湿度(45±5%RH)和电荷水平
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