ESD安全洁净室解决方案:精密制造的高级静态控制
在微观污染物和静电排放(ESD)构成关键风险(例如半导体制造,药品和航空航天)的行业中,它是不可判断的ESD安全无尘室。这些工况需要集成的解决方案,将空气纯度与稳健的静态控制相结合以保护敏感组件并确保操作连续性。
静电放电会不可逆地损害微电子,折衷的药物不育和破坏精度制造。有效的ESD-SAFE 无尘室采用导电材料,电离系统和湿度控制来中和静电电荷。具有耗散特性和接地工作站的高级地板进一步最小化风险,确保符合ANSI/ESD S20.20和IEC 61340-5-1标准。
定制工程 FFU(风机 过滤器单位) 形成静态控制的骨干无尘室。我们的FFU系统将HEPA/ULPA 过滤器与除静电涂层集成在一起,以确保颗粒的去除,同时防止电荷积累。可变速度电机允许精确风量调整(为ISO 5-8类推荐使用0.3-0.45 m/s(0.3-0.45 m/s),在不引入涡轮诱导的静态静态的情况下保持层流。
导电表面:表面电阻率≤1×10⁶Ω/sq的工作台和存储单元。
电离技术:平衡空气电离器中和晶圆处理区等关键区域的电荷。
人员接地:静止服装,鞋类和手腕皮带可确保操作员安全。
实时监视:连续ESD事件记录和粒子计数以进行主动调整。
量身定制的解决方案解决了独特的要求:
半导体:具有EMI屏蔽的超低振动FFU阵列。
制药:带抗菌涂料和ISO 14644-1级别5级合规性的洁净室。
生物技术:负压北极区兼容的负压区域。
我们的解决方案遵守FDA CGMP,欧盟GMP附件1和ISO 14644-7 ESD指南。安装后验证包括粒子计数映射,风量可视化(烟雾研究)和ESD敏感性测试,以确保审核就绪。