什么是EFU(设备风机过滤器单元)?
EFU或设备风机过滤器单元是一种专门设计用于设备应用中的空气过滤和通风的设备,尤其是在洁净室中。 EFU用于维持在半导体制造,生物技术,制药和其他技术驱动的领域等行业中发现的敏感设备所需的洁净度和无颗粒环境。
EFU通常安装在设备本身或附近,而不是像传统FFU(风机过滤器单元)一样在洁净室天花板上。它们被设计为紧凑,容易连接到设备上,并提供局部空气过滤和循环。
EFU由风机和过滤器部分组成。风机有助于创建气流,从周围环境中吸引环境空气并将其通过过滤器部分。过滤器部分负责从传入的空气中去除颗粒,污染物和污染物,以确保仅将无尘的,过滤的空气传递到设备上。
EFU中使用的过滤器是高效过滤器,例如HEPA(高效颗粒空气)或ULPA(超低渗透空气)过滤器。这些过滤器能够以高效率捕获小至0.3微米的颗粒,从而确保保持所需的洁净水平。
EFU还配备了控制系统,可以进行可变的气流和风机速度调整,从而可以精确控制空气质量和流速,以满足所服务设备的特定要求。
总体而言,EFU在保持无尘室环境中敏感设备的洁净度和性能方面起着至关重要的作用,确保生产高质量的产品并更大程度地减少污染风险。
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