本文探讨了 高效FFU，它们在洁净室环境中的重要性，以及如何为您的特定需求选择合适的单元。它突出了过滤，气流，能源效率和自定义的好处，以帮助企业保持更佳的空气质量。
在半导体制造中，即使是0.1μm颗粒也可以破坏晶圆的完整性。随着过程收缩至3NM，得胜鑫 FFU成为ISO 1洁净室的关键解决方案。本文探讨了其三重过滤器技术，可在0.12μm颗粒上达到99.9995％的效率，CFD优化的层流气流，±5％均匀性以及AI驱动的±0.05°C温度控制。案例研究表明，12英寸Fabs中有98.4％的光孔涂料产率和40％的缺陷降低。了解为什么全球铸造厂采用得胜鑫ffu来打击污染风险，同时将能源成本降低30％。
