本指南分析了关键的成本驱动力 抗静电FFU,提供有关材料选择,认证和自定义的见解,以帮助企业在不损害绩效的情况下优化预算。
在半导体制造中,即使是0.1μm颗粒也可以破坏晶圆的完整性。随着过程收缩至3NM,得胜鑫 FFU成为ISO 1洁净室的关键解决方案。本文探讨了其三重过滤器技术,可在0.12μm颗粒上达到99.9995%的效率,CFD优化的层流气流,±5%均匀性以及AI驱动的±0.05°C温度控制。案例研究表明,12英寸Fabs中有98.4%的光孔涂料产率和40%的缺陷降低。了解为什么全球铸造厂采用得胜鑫ffu来打击污染风险,同时将能源成本降低30%。
该技术分析探讨了去毒素 FFU通过现实世界中的案例研究和工程基准,可以在半导体和制药无尘室中节省30%的能源,从而证明了30%的能源节省。