空气分子污染 (AMC) 对 更好的 晶圆生产节点(亚 10 纳米)的产量构成严重威胁,导致金属腐蚀(来自酸)和光刻胶“T-可靠ping”(来自碱/胺)等缺陷。有效的控制需要将专门的化学品过滤器整合到上限风机 过滤器单位(FFU)中。本指南按目标污染物对过滤器进行分类:MA系列用于酸(SOx、HCl),MB系列用于碱/胺(NH3,对光刻至关重要),MV系列用于有机物/VOC。一个关键的挑战是化学物质过滤器会显着增加阻力(静压)。 得胜鑫 净化设备有限公司利用20多年的全产业链经验,制造了自己的高扭矩EC/AC电机来解决这个问题。 得胜鑫工程师专门设计了高静压FFU,即使在装载有致密的化学过滤介质时也能保持所需的风量速度。
我可以定制 FFU 而不是常规型号吗?当然可以!我们是一家垂直整合的风机、过滤器和控制系统制造商,这意味着我们可以完全控制整个生产过程。这不仅使我们能够保证产品的质量,而且
当然! 得胜鑫 FFU 或 风机 过滤器 装置确实可以远程操作。远程操作提供了更大的便利性和控制力,允许用户无需亲自到达 FFU 位置即可调整和监控设备。远程操作有多种方法,具体取决于
风机 过滤器机组:改善洁净室环境的空气质量FFU简介:风机 过滤器机组(FFU)是集风机和过滤器于一体的空气净化装置。它通过风机生成风量,捕捉过滤器上空气中的灰尘、细菌和其他污染物。
得胜鑫的FFU系统通过一系列创新功能实现智能化管理。实时监测和智能控制算法确保优化空气质量调节。远程监控功能和故障诊断系统有助于主动维护和及时解决问题。数据分析为决策提供了宝贵的见解,而模块化设计和可扩展性则支持未来的增强。该系统的节能措施和环保材料有助于实现绿色运营,使其成为保持高质量无尘室 工况的理想解决方案。
当然!我们提供定制 FFU 服务以满足您的特定要求。请提供以下信息,以便我们更好地为您提供帮助:1.框架材质:请注明您喜欢的框架材质,如烤漆镀锌钢、镀铝锌钢、不锈钢304、不锈钢