A 风机 过滤器 单位 (FFU) 是用于提供超净层流风量的关键无尘室设备。它在维护半导体、制药和电子行业的 ISO 无尘室 标准方面发挥着关键作用。本文阐述其工作原理、结构、应用及优点。

针对更好的半导体制造中严重的空间限制，得胜鑫 净化在Productronica China 2026上成功推出了70mm超薄设备风机 过滤器单元（EFU/FFU）。这种行业级的专业服务商紧凑设计是通过得胜鑫独特的全供应链制造实现的模型（内部生产 风机 和 HEPA 过滤器），确保对高密度工艺工具进行优质污染控制。