化学过滤器
许多因素在工业环境中腐蚀和气味污染的问题。它不是由单个因素引起的，无法通过单个解决方案解决。
SEML标准F21-95提供了一种分类微电子无尘室的方法。这是针对气体质量增强剂的，类似于联邦标准209E的颗粒污染。EmmstardF21-95基于气相强调的类别，对A 无尘室进行了分类，每个类别的允许浓度水平。
四类气相污染物：
1.ACIDS（A类）：
腐蚀性气体，以化学反应为酸（电子检查器）
2.Bases（B类）：腐蚀性Qass，以碱的化学反应（电子供体）
3.粘合物（C类）：沸点的污染物通常高于室温，并且在晶圆表面上凝结。
4.培养剂（D类）：
改变半导体材料的电性能的污染物。
SEML F21-95分类由字母“ M ”确定，其次是类别设计器，然后是允许的污染物浓度，分别为每个三利型（PPT）。Folexample，MA-10IS的分类，具有更大允许允许的10 ppt的MA-10IS分类。
空气传播分子污染物的分类
| 材料类别 | 1 ppt | 10 ppt | 100 ppt | 1,000 ppt | 10,000 ppt |
| 酸 | MA-1 | MA-10 | MA-100 | MA-1000 | MA-10,000 |
| 基地 | MB-1 | MB-10 | MB-100 | MB-1000 | MB-10,000 |
| 浓缩物 | MC-1 | MC-10 | MC-100 | MC-1000 | MC-10,000 |
| 掺杂剂 | MD-1 | MD-10 | MD-100 | MD-1000 | MD-10,000 |
“ semlf21-95：清洁环境中空气传播分子污染物水平的分类”。1ppb = 1,000 ppt，1ppm = 1,000,000 ppt。
允许的AMC（机载分子污染物）浓度取决于无尘室的类别，所使用的过程以及所使用的设备。
预计0.25 UM过程的AMC限制
| 过程步骤 | 更大坐的时间 | MA（PPT） | MB（PPT） | MC（PPT） | MD（PPT） |
| 前乙氧化 | 4小时 | 13,000 | 13,000 | 1,000 | 0.1 |
| 盐度 | 1小时 | 180 | 13,000 | 35,000 | 1,000 |
| 接触形成 | 24小时 | 5 | 13,000 | 2,000 | 100,000 |
| Duv Photorithagraphy | 2小时 | 10,000 | 1,000 | 100,000 | 10,000 |
洁净室中的典型污染物和浓度
| 类别 | 污染物 | 浓度浓度，ppt 高高 | |
酸 | 盐酸 | 20,000 | 400，000 |
| 氢氟酸 | 40,000 | 250,000 | |
| 硝酸 | 20,000 | 250,000 | |
| 硫酸 | 10,000 | 300,000 | |
| 磷酸 | 10,000 | 400,000 | |
| 醋酸 | 10,000 | 250,000 | |
| 二氧化氮 | 30,000 | 300,000 | |
| 二氧化硫 | 10,000 | 150,000 | |
基地 | 氨 | 10,000 | 200,000 |
| NMP | 20,000 | 300,000 | |
浓缩物 | 丙酮 | 20,000 | 500,000 |
| 甲苯 | 10,000 | 250,000 | |
掺杂剂 | 硼酸 | ND | 200,000 |
| 磷 | ND | 5,000 | |
| arsine | ND | 50,000 | |
用于控制气味和气体污染物的四种主要技术：掩盖，燃烧，换气和去除。Media沉淀用于通过吸附和氧化来控制气体污染物。化学过滤器可以通过吸收剂量的原理去除分子污染物。
为了消除颗粒物材料，净化空气，气态和蒸发的复合派别过滤器对不良气体和蒸气没有有效的效果。
当气态或液体分子到达吸附剂的表面并保持没有化学反应时，该现象称为物理吸附或物理吸附。
碳可以与其他化学物质浸渍，以通过未处理的碳改善某些低吸收能力的气体。这些化学物质与气体反应以降低污染物的浓度。
删除特定气体的另一种方法是捕获和反应。该过程称为化学吸附。
提供许多吸附材料；每种材料对某些蒸发剂具有特殊的亲和力。
当碳的尺寸越来越小时，表面积会增加。尽管它只是碳灰尘，即使碳的尺寸较小。 更好的 sizemust可以通过实验确定。
在分子污染物系统中，初始污染物的去除效率并不取决于体内粒径和碳活性，总表面积和表面化学的重要参数以确定初始效率。
如果空气污染非常潮湿（例如在下雨天），则可以竞争性地吸附有靶向污染的气体以吸附的碳容量，但是。f反应引起的，水分可以迅速增加反应。
温度更高时，温度还会影响吸附速率。将污染物吸引到碳中更困难。
有三种类型的过滤器系统可提供某种级别的AMC去除碳浆液涂层类型，碳托盘和碳载碳的碳纤维形式。
碳浆液涂层类型（Polysorb活性炭培养基） ：通常是涂有泡沫或非织造的粘合粉末碳。
碳托盘类型：通常在1-3英寸深托盘中装载较大的碳颗粒。
Cabon装载的Web在褶皱中加载：较小的颗粒状碳是物理上绑定的未织造培养基的。
三种类型的化学过滤器的比较如下。
| 性能参数 | 碳浆涂层过滤器 | 碳托盘 | 碳碳纤维韦布的百褶形式 |
| 低压下降 | + | - | + |
| 碳重量 | - | + + | + + + |
| 0点碳尺寸 | + | - | + + + + |
| 0 VeralladSorptermationPerformance | - - | + | + + + |
| 低尘 | + | - | + + |
| 百褶的能力 | + | N/A。 | + + + + |
| 易于更换 | + | - | + |
碳浆液涂层类型：（ Polysorb活性炭介质）
空气流与抗拒
碳浆涂层类型的性能数据
可用的自定义尺寸
托盘型化学过滤器
（媒体类型）
MM-1000由活化的铝（Al₂O₃）组成，该铝含有钾含钾（KMNO₄）。铝吸附剂的水分和气味。例如：h₂s+kmno₄：+h₂o→k₂so₄+koh+mno₂，+h₂o·k₂so₄，koh和mno₂是固体，并且存在于板上。
MM-3000由活化的碳组成，物理吸附去除气体分子活化的碳用于去除具有较高亲和力texpific气体的广泛污染物。
MM-7000由活化的碳组成，该碳浸有磷酸。LTEnhancesefficiecy和碱型分子污染物的能力。在吸附后，伴有化学反应被化学反应中和。
MM-9000由活化的碳组成，该碳浸有氢氧化钾。它具有酸性分子污染物的效率和能力。在吸附量后，通过化学反应中和。
MM-1000
MM-9000
| 类型 | MM-1000 | MM-3000 | MM-7000 | MM-9000 |
材料成分 | 4％高峰钾+氧化铝 | 活性碳 | 10％磷酸 +碳 | 5-10％氢氧化钾 +碳 |
| 水分（wt％） | 15 | 2 | 15 | 15 |
| 压碎测试（wt％） | 32 | - | - | - |
| 硬度（wt％） | - | 95 | 95 | 95 |
| 颗粒直径（mm） | 3.5 （6网格） | 3 | 4 | 3 |
| 底物表面积（m²/g） | 250 | 1000 | 1000 | 1000 |
| 形状 | 球形颗粒 | 颗粒 | 颗粒 | 颗粒 |
| 明显密度（g/cc） | 0.8（50 lb/ft⊃3;） | （30磅/ft⊃3;） | 0.8（50 lb/ft⊃3;） | 0.55（（35磅/ft⊃3;） |
| h₂的容量（更小） | 0.1gh₂s/cc | - | 0.05gnh₃/cc | 0.15gh₂s/cc |
| 基板CTC（wt％） | - | 60 | 60 | 60 |
| 压力下降@50fpm | 1.0“床/英尺的床 | 1.7“床/英尺的床 | 1.8“床/英尺的床 | 1.7“床/英尺的床 |
除去各种气体和蒸气的各种吸附剂的比较
答：常规活性碳
B：高锰酸钾加基材料
C：用氢氧化钾涂层的活性碳
| A | B | C | |
| VOC | 8 | 2 | 6 |
| 臭氧 | 10 | 2 | 10 |
| 二氧化氮 | 6 | 4 | 9 |
| 硝酸 | 6 | 6 | 9 |
| 酸 /腐蚀性气（HCI，HF，氯） | 0 | 0 | 8 |
| H，S（气味和腐蚀气） | 1 | 8 | 10 |
| S0，（气味和腐蚀气） | 7 | 8 | 9 |
| 有机硫（气味和腐蚀性蒸气） | 5 | 8 | 9 |
托盘：
标准托盘以冷卷的钢黑色烘焙成品，可选的不锈钢opoxy涂层托盘。
标准托盘尺寸
| 尺寸 | 化学异象的重量 |
| 24*24*1 ” | 4kg |
| 24*24*2 ” | 8.5公斤 |
| 12*24*2 ” | 2kg |
| 12*24*2 ” | 4kg |
流速与压力下降
单盘
流速（CFM）
侧访问吸附剂托盘外壳：
它类似于颗粒过滤器的外壳，除非它包含一系列偏移轨道轨道托盘安装在水平位置的轨道中，以形成v Shape。它的Alsoscructure包括2英寸深的W-pre w-pre precosoble portosable portopable plateated {[t293] {t293]}，以提供某种粒子pressitive tocretunce contrampination tocretunce contrampination warge profectination warge profectination warge profectination。
容量索引图
容量指数具有以下含义：
4此猫级别中所有材料的高容量。一磅占其自身体重平均水平的20％，约为1/3（33-1/3％）。此类别包括引起物质的气味。
3对于此Ca-Tegory中的所有项目的满意能力。这些构成商品应用程序，但容量不如Forcategory 4. ABSORBS约10％至25％的其量的10％至25％，约1/6（16.7％）
2包括没有高层吸附的物质，但在特定的操作条件下可能会充分利用以提供良好的服务。塞尔特尔个人检查。
1对于这些杂物的吸附能力较低。活化的chacoal不能令人满意地消除它们不诚实的情况。
*对于星号化合物，撤回的碳ORMM-1000，MM-7000，MM-9000将大大提高吸附能力。
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