化学过滤器
许多因素在工业环境中腐蚀和气味污染的问题。它不是由单个因素引起的，无法通过单个解决方案解决。
SEML标准F21-95提供了一种依靠气压分子污染（AMC）水平的微电子无尘室分类的方法。这是针对气体质量增强剂的，类似于联邦标准209E的颗粒污染。EmmstardF21-95根据气体强调的类别和每个类别的允许浓度水平对洁净室进行了分类。
四类气相污染物：
1.ACIDS（A类）：
腐蚀性气体，以化学反应为酸（电子检查器）
2.Bases（B类）：腐蚀性Qass，以碱的化学反应（电子供体）
3.粘合物（C类）：沸点的污染物通常高于室温，并且在晶圆表面上凝结。
4.培养剂（D类）：
改变半导体材料的电性能的污染物。
SEML F21-95分类由字母“ M ”确定，其次是类别设计器，然后是允许的污染物浓度，分别为每个三利型（PPT）。Folexample，MA-10IS的分类，具有更大允许允许的10 ppt的MA-10IS分类。
空气传播分子污染物的分类
| 材料类别 | 1 ppt | 10 ppt | 100 ppt | 1,000 ppt | 10,000 ppt |
| 酸 | MA-1 | MA-10 | MA-100 | MA-1000 | MA-10,000 |
| 基地 | MB-1 | MB-10 | MB-100 | MB-1000 | MB-10,000 |
| 浓缩物 | MC-1 | MC-10 | MC-100 | MC-1000 | MC-10,000 |
| 掺杂剂 | MD-1 | MD-10 | MD-100 | MD-1000 | MD-10,000 |
“ semlf21-95：洁净环境中空气传播分子污染物水平的分类”。1ppb = 1,000 ppt，1ppm = 1,000,000 ppt。
允许的AMC（机载分子污染物）浓度取决于洁净室的类别，所使用的过程和所使用的设备。
预计0.25 UM过程的AMC限制
| 过程步骤 | 更大坐的时间 | MA（PPT） | MB（PPT） | MC（PPT） | MD（PPT） |
| 前乙氧化 | 4小时 | 13,000 | 13,000 | 1,000 | 0.1 |
| 盐度 | 1小时 | 180 | 13,000 | 35,000 | 1,000 |
| 接触形成 | 24小时 | 5 | 13,000 | 2,000 | 100,000 |
| Duv Photorithagraphy | 2小时 | 10,000 | 1,000 | 100,000 | 10,000 |
洁净室中的典型污染物和浓度
| 类别 | 污染物 | 浓度浓度，ppt 高高 | |
酸 | 盐酸 | 20,000 | 400，000 |
| 氢氟酸 | 40,000 | 250,000 | |
| 硝酸 | 20,000 | 250,000 | |
| 硫酸 | 10,000 | 300,000 | |
| 磷酸 | 10,000 | 400,000 | |
| 醋酸 | 10,000 | 250,000 | |
| 二氧化氮 | 30,000 | 300,000 | |
| 二氧化硫 | 10,000 | 150,000 | |
基地 | 氨 | 10,000 | 200,000 |
| NMP | 20,000 | 300,000 | |
浓缩物 | 丙酮 | 20,000 | 500,000 |
| 甲苯 | 10,000 | 250,000 | |
掺杂剂 | 硼酸 | ND | 200,000 |
| 磷 | ND | 5,000 | |
| arsine | ND | 50,000 | |
用于控制气味和气体污染物的四种主要技术：掩盖，燃烧，易位和去除。Media颗粒用于通过adsorp-tion和氧化来控制气体污染物。化学过滤器可以通过吸附和吸收原理去除分子污染物。
为了通过消除颗粒物材料来净化空气，气态和蒸发的复合特性过滤器对不良气体和蒸气没有有效的效果。
当气态或液体分子到达吸附剂的表面并保持没有化学反应时，该现象称为物理吸附或物理吸附。
碳可以与其他化学物质浸渍，以通过未处理的碳改善某些低吸收能力的气体。这些化学物质与气体反应以降低污染物的浓度。
删除特定气体的另一种方法是捕获和反应。该过程称为化学吸附。
提供许多吸附材料；每种材料对某些蒸发剂具有特殊的亲和力。
当碳的尺寸越来越小时，表面积会增加。尽管它只是碳灰尘，即使碳的尺寸较小。更佳气压可以通过实验确定。
在分子污染物系统中，初始污染物的去除效率并不取决于体内粒径和碳活性，总表面积和表面化学的重要参数以确定初始效率。
如果空气污染非常潮湿（例如在下雨天），则可以竞争性地吸附有靶向污染的气体以吸附的碳容量，但是。f反应引起的，水分可以迅速增加反应。
温度更高时，温度还会影响吸附速率。将污染物吸引到碳中更困难。
有三种类型的过滤系统，可提供某种水平的AMC去除碳浆涂层类型，碳托盘和碳载碳纤维的封闭形式。
碳浆液涂层类型（Polysorb活性炭培养基） ：通常是涂有泡沫或非织造的粘合粉末碳。
碳托盘类型：通常在1-3英寸深托盘中装载较大的碳颗粒。
Cabon装载的Web在褶皱中加载：较小的颗粒状碳是物理上绑定的未织造培养基的。
三种化学过滤器的比较如下。
| 性能参数 | 碳浆涂层 | 碳托盘 | 碳碳纤维韦布的百褶形式 |
| 低压下降 | + | - | + |
| 碳重量 | - | + + | + + + |
| 0点碳尺寸 | + | - | + + + + |
| 0 VeralladSorptermationPerformance | - - | + | + + + |
| 低尘 | + | - | + + |
| 百褶的能力 | + | N/A。 | + + + + |
| 易于更换 | + | - | + |
碳浆液涂层类型：（ Polysorb活性炭介质）
空气流与抗拒
碳浆涂层类型的性能数据
可用的自定义尺寸
托盘型化学过滤
（媒体类型）
MM-1000由活化的铝（Al₂O₃）组成，该铝含有钾含钾（KMNO₄）。铝吸附剂的水分和气味。例如：h₂s+kmno₄：+h₂o→k₂so₄+koh+mno₂，+h₂o·k₂so₄，koh和mno₂是固体，并且存在于板上。
MM-3000由活化的碳组成，物理吸附去除气体分子活化的碳用于去除具有较高亲和力topscific气体的广泛污染物。
MM-7000由活化的碳组成，该碳浸有磷酸。LTEnhancesefficiecy和碱型分子污染物的能力。在吸附后，伴有化学反应被化学反应中和。
MM-9000由活化的碳组成，该碳浸有氢氧化钾。它具有酸性分子污染物的效率和能力。在吸附量后，通过化学反应中和。
MM-1000
MM-9000
| 类型 | MM-1000 | MM-3000 | MM-7000 | MM-9000 |
材料成分 | 4％高峰钾+氧化铝 | 活性碳 | 10％磷酸 +碳 | 5-10％氢氧化钾 +碳 |
| 水分（wt％） | 15 | 2 | 15 | 15 |
| 压碎测试（wt％） | 32 | - | - | - |
| 硬度（wt％） | - | 95 | 95 | 95 |
| 颗粒直径（mm） | 3.5 （6网格） | 3 | 4 | 3 |
| 底物表面积（m²/g） | 250 | 1000 | 1000 | 1000 |
| 形状 | 球形颗粒 | 颗粒 | 颗粒 | 颗粒 |
| 明显密度（g/cc） | 0.8（50 lb/ft⊃3;） | （30磅/ft⊃3;） | 0.8（50 lb/ft⊃3;） | 0.55（（35磅/ft⊃3;） |
| h₂的容量（更小） | 0.1gh₂s/cc | - | 0.05gnh₃/cc | 0.15gh₂s/cc |
| 基板CTC（wt％） | - | 60 | 60 | 60 |
| 压力下降@50fpm | 1.0“床/英尺的床 | 1.7“床/英尺的床 | 1.8“床/英尺的床 | 1.7“床/英尺的床 |
除去各种气体和蒸气的各种吸附剂的比较
答：常规活性碳
B：高锰酸钾加基材料
C：用氢氧化钾涂层的活性碳
| A | B | C | |
| VOC | 8 | 2 | 6 |
| 臭氧 | 10 | 2 | 10 |
| 二氧化氮 | 6 | 4 | 9 |
| 硝酸 | 6 | 6 | 9 |
| 酸 /腐蚀性气（HCI，HF，氯） | 0 | 0 | 8 |
| H，S（气味和腐蚀气） | 1 | 8 | 10 |
| S0，（气味和腐蚀气） | 7 | 8 | 9 |
| 有机硫（气味和腐蚀性蒸气） | 5 | 8 | 9 |
托盘：
标准托盘以冷卷的钢黑色烘焙成品，可选的不锈钢opoxy涂层托盘。
标准托盘尺寸
| 尺寸 | 化学异象的重量 |
| 24*24*1 ” | 4kg |
| 24*24*2 ” | 8.5公斤 |
| 12*24*2 ” | 2kg |
| 12*24*2 ” | 4kg |
流速与压力下降
单盘
流速（CFM）
侧访问吸附剂托盘外壳：
它类似于颗粒过滤器的外壳，除了包含一系列偏移轨道，将托盘安装在水平位置的轨道中以形成V形状。它的Alsosconture包括一个2英寸深的W-PRE可支配的Pleated滤波过滤器，以从颗粒污染中提供某些保护。
容量索引图
容量指数具有以下含义：
4此猫级别中所有材料的高容量。一磅占其自身体重平均水平的20％，约为1/3（33-1/3％）。此类别包括引起物质的气味。
3对于此Ca-Tegory中的所有项目的满意能力。这些构成商品应用程序，但容量不如Forcategory 4. ABSORBS约10％至25％的其量的10％至25％，约1/6（16.7％）
2包括没有高层吸附的物质，但在特定的操作条件下可能会充分利用以提供良好的服务。塞尔特尔个人检查。
1对于这些杂物的吸附能力较低。活化的chacoal不能令人满意地消除它们不诚实的情况。
*对于星号化合物，撤回的碳ORMM-1000，MM-7000，MM-9000将大大提高吸附能力。
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