半导体无尘室通常需要向风机 过滤器单位(FFU)添加空气分子污染(AMC)化学品过滤器(例如MA/MB/MV系列),这会显着增加静压阻力。标准 FFU 通常无法在此负载下维持 风量。 得胜鑫 净化装备有限公司凭借20多年的全产业链经验应对这一挑战。 得胜鑫工程师专门设计了高静压FFU。通过利用自制的高扭矩电机和优化的叶轮设计,得胜鑫确保其FFU拥有必要的功率来克服化学过滤器带来的高阻力,同时保持对晶圆制造至关重要的稳定风量工况。
这份全面的常见问题解答指南涵盖了有关高风量高静压 FFU 的所有内容,包括它们在半导体、制药和工业环境中的应用、选择标准和性能优化策略。
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