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半导体 无尘室 过滤器

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  • 电子制造中 HEPA(高效颗粒空气)和 ULPA(超低颗粒空气)过滤器 之间的主要区别在于过滤效率和目标颗粒尺寸。 HEPA 过滤器(H13/H14 等级)通常可捕获 99.99% 的 0.3μm 颗粒,使其适用于标准电子装配区域。相反,ULPA 过滤器(U15-U17 牌号)对于晶圆制造和光刻等关键的超洁净半导体工艺至关重要。 ULPA 过滤器 可捕获小得多的颗粒,小至 0.12μm,效率高达 99.999995%。 得胜鑫 净化设备有限公司凭借20多年的全链条制造经验,在内部生产两种过滤器牌号,并提供单独的扫描测试报告以验证性能是否满足严格的无尘室要求。

    2026.01.27

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电子制造中 HEPA(高效颗粒空气)和 ULPA(超低颗粒空气)过滤器 之间的主要区别在于过滤效率和目标颗粒尺寸。 HEPA 过滤器(H13/H14 等级)通常可捕获 99.99% 的 0.3μm 颗粒,使其适用于标准电子装配区域。相反,ULPA 过滤器(U15-U17 牌号)对于晶圆制造和光刻等关键的超洁净半导体工艺至关重要。 ULPA 过滤器 可捕获小得多的颗粒,小至 0.12μm,效率高达 99.999995%。 得胜鑫 净化设备有限公司凭借20多年的全链条制造经验,在内部生产两种过滤器牌号,并提供单独的扫描测试报告以验证性能是否满足严格的无尘室要求。