风机 过滤器 单元 (FFU) 和设备 风机 过滤器 单元 (EFU) 是现代 无尘室 中使用的基本 风量 系统。 FFU 维持整个无尘室环境的清洁度，而 EFU 为特定制造设备提供局部超洁净风量。本文解释了 FFU 和 EFU 系统之间的主要区别、它们在半导体和电子制造中的应用，以及如何选择更合适的风量解决方案。它还引入了创新的薄型 EFU 设计，旨在满足现代半导体设备严格的空间要求。

半导体无尘室通常需要向风机 过滤器单位（FFU）添加空气分子污染（AMC）化学品过滤器（例如MA/MB/MV系列），这会显着增加静压阻力。标准 FFU 通常无法在此负载下维持 风量。 得胜鑫 净化装备有限公司凭借20多年的全产业链经验应对这一挑战。 得胜鑫工程师专门设计了高静压FFU。通过利用自制的高扭矩电机和优化的叶轮设计，得胜鑫确保其FFU拥有必要的功率来克服化学过滤器带来的高阻力，同时保持对晶圆制造至关重要的稳定风量工况。